| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·气相缓蚀剂的特点及性能指标 | 第9-10页 |
| ·气相缓蚀剂的发展 | 第10-12页 |
| ·气相缓蚀剂的发展方向 | 第12页 |
| ·气相缓蚀剂的研究热点 | 第12-15页 |
| ·新近公布的部分气相缓蚀剂 | 第15-17页 |
| ·植酸类气相缓蚀剂的研究 | 第17-19页 |
| ·立题的意义和研究内容 | 第19-21页 |
| 2 植酸及其制备 | 第21-35页 |
| ·植酸的研究现状 | 第21-25页 |
| ·实验部分 | 第25-27页 |
| ·结果与讨论 | 第27-32页 |
| ·植酸结构鉴定 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 植酸类缓蚀剂的气相缓蚀性能测定 | 第35-60页 |
| ·密闭空间挥发减量实验 | 第35-36页 |
| ·失重法评价气相缓蚀剂 | 第36-43页 |
| ·腐蚀表面形貌分析 | 第43-47页 |
| ·电化学法评价气相缓蚀剂 | 第47-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 4 气相缓蚀剂的缓蚀机理探讨 | 第60-66页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·植酸类气相缓蚀剂的等温吸附模型探讨 | 第60-63页 |
| ·机理探讨 | 第63-66页 |
| 5 结论 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |