| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·红外反射膜的发展与需求 | 第9-12页 |
| ·溶胶-凝胶法概述 | 第12-16页 |
| 第二章 基本薄膜的特征及制备 | 第16-28页 |
| ·TiO_2 的晶相结构及基本特性 | 第16-23页 |
| ·TiO_2 的晶相 | 第17-18页 |
| ·TiO_2 薄膜的制备 | 第18-23页 |
| ·SIO_2 薄膜的制备 | 第23-28页 |
| ·SiO_2 的晶体结构及基本特性 | 第23-25页 |
| ·SiO_2 薄膜的制备 | 第25-28页 |
| 第三章 基本薄膜性能测试 | 第28-48页 |
| ·薄膜结构的XRD 分析 | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜分析 | 第29-34页 |
| ·SEM 表面分析 | 第29-31页 |
| ·SEM 测量薄膜厚度 | 第31-34页 |
| ·薄膜椭圆偏振光谱仪（ELLIPSOMETRY）分析 | 第34-48页 |
| ·TiO_2 薄膜的椭圆偏振光谱测试 | 第38-44页 |
| ·SiO_2 薄膜的椭圆偏振光谱测试 | 第44-48页 |
| 第四章 膜系设计 | 第48-62页 |
| ·膜系设计方法选择 | 第48-56页 |
| ·反射定律和折射定律 | 第48-49页 |
| ·光学薄膜特性的理论计算 | 第49-53页 |
| ·膜系设计理论简化 | 第53-56页 |
| ·计算软件的编写 | 第56-58页 |
| ·设计结果 | 第58-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 研究成果 | 第72页 |