| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-42页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·微机电系统中Ti-Ni合金薄膜的应用概况 | 第13-19页 |
| ·微机电系统的特点和发展概况 | 第13-15页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜在微机电系统中的应用 | 第15-19页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的制备技术 | 第19-22页 |
| ·靶材 | 第19-20页 |
| ·Ar气气压 | 第20-21页 |
| ·基底 | 第21页 |
| ·阴阳电极间距离 | 第21-22页 |
| ·表面处理工序 | 第22页 |
| ·热处理 | 第22页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的晶化行为 | 第22-24页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的相变特征 | 第24-26页 |
| ·相变温度 | 第24-26页 |
| ·R相变 | 第26页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的性能表征 | 第26-34页 |
| ·形状记忆效应和伪弹性 | 第27-29页 |
| ·延伸率和屈服强度 | 第29-30页 |
| ·显微硬度和弹性模量 | 第30-32页 |
| ·加工性能 | 第32页 |
| ·防腐耐磨性能 | 第32-33页 |
| ·表面形貌和膜基结合强度 | 第33-34页 |
| ·本论文选题背景和研究内容 | 第34-36页 |
| 参考文献 | 第36-42页 |
| 第二章 Ti-Ni合金薄膜的制备及检测方法 | 第42-50页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·制备工艺 | 第42-44页 |
| ·靶材熔炼 | 第42页 |
| ·基底准备 | 第42-43页 |
| ·薄膜溅射 | 第43页 |
| ·热处理 | 第43-44页 |
| ·检测方法 | 第44-46页 |
| ·厚度测量 | 第44页 |
| ·成分分析 | 第44-45页 |
| ·形貌观察 | 第45页 |
| ·结构分析 | 第45-46页 |
| ·性能表征 | 第46页 |
| ·磁控溅射Ti-Ni合金薄膜的成分调节 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 非晶态Ti-Ni合金薄膜的晶化行为 | 第50-65页 |
| ·引言 | 第50-51页 |
| ·实验方法 | 第51页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的非等温晶化行为 | 第51-55页 |
| ·近等原子比Ti-Ni合金薄膜的等温晶化行为 | 第55-62页 |
| ·原位X射线衍射分析 | 第55-58页 |
| ·等温晶化动力学 | 第58-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第四章 热处理对Ti-Ni合金薄膜结构及相变行为的影响 | 第65-90页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·试验方法 | 第65页 |
| ·热处理对Ti-Ni合金薄膜结构的影响 | 第65-72页 |
| ·热处理过程中Ti-Ni合金薄膜结构的演变 | 第66-68页 |
| ·热处理过程中Ni_4Ti_3 相的析出行为 | 第68-72页 |
| ·热处理对Ti-Ni合金薄膜相变行为的影响 | 第72-87页 |
| ·热处理温度对Ti-Ni合金薄膜相变特征温度的影响 | 第72-78页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的R相变分析 | 第78-87页 |
| ·本章小结 | 第87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 第五章 Ti-Ni合金薄膜的表面形貌及膜基结合强度 | 第90-108页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·试验方法 | 第90-91页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜表面粗糙度的测定 | 第91-96页 |
| ·晶化过程中Ti-Ni合金薄膜表面形貌的演变机理 | 第96-101页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜不同相的表面形貌 | 第101-103页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜与Si(100)基底的界面结合强度 | 第103-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-108页 |
| 第六章 Ti-Ni合金薄膜的纳米压入行为 | 第108-128页 |
| ·引言 | 第108页 |
| ·试验方法 | 第108-109页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜纳米压入行为的分析 | 第109-112页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的纳米力学性能测定方法 | 第109-111页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的纳米伪弹性分析方法 | 第111-112页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜不同相的纳米力学性能 | 第112-123页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜不同相的纳米伪弹性 | 第123-125页 |
| ·本章小结 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-128页 |
| 第七章 Ti-Ni合金薄膜的高温氧化行为 | 第128-138页 |
| ·引言 | 第128页 |
| ·实验方法 | 第128-129页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的等温氧化动力学 | 第129-130页 |
| ·Ti-Ni合金薄膜的氧化膜结构分析 | 第130-134页 |
| ·氧化Ti-Ni合金薄膜的表面形貌考察 | 第134-136页 |
| ·本章小结 | 第136-137页 |
| 参考文献 | 第137-138页 |
| 第八章 主要结论及创新点 | 第138-141页 |
| ·主要结论 | 第138-139页 |
| ·创新点 | 第139-141页 |
| 致谢 | 第141-142页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第142页 |
