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磁控溅射法制备二氧化钛半导体薄膜的光致催化和亲水特性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 文献综述第8-18页
   ·引言第8-9页
   ·二氧化钛的初步认识第9-12页
     ·二氧化钛的用途第9-10页
     ·二氧化钛的晶体结构第10-12页
   ·二氧化钛的光催化原理第12-13页
   ·二氧化钛光催化性能的提高第13-15页
     ·晶型的种类第13页
     ·比表面积第13页
     ·贵金属沉积和复合半导体第13-14页
     ·表面光敏化第14页
     ·离子掺杂第14页
     ·晶粒尺寸第14-15页
   ·本章小结第15页
 参考文献第15-18页
第二章 二氧化钛薄膜的制备与表征第18-33页
   ·二氧化钛薄膜的制备方法简介第18-26页
     ·液相沉积法第18-19页
     ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)法第19-20页
     ·化学气相沉积法第20-21页
     ·溅射法第21-24页
     ·本实验仪器概况第24-26页
   ·薄膜的表征第26-31页
     ·X射线衍射第26-28页
     ·扫描电子显微镜第28-29页
     ·光催化测试第29-31页
   ·本章小结第31页
 参考文献第31-33页
第三章 二氧化钛薄膜的直流磁控溅射法制备第33-52页
   ·薄膜的生长理论第33-35页
   ·实验第35-37页
     ·基片清洗第36页
     ·二氧化钛的制备第36-37页
   ·溅射时间对薄膜性能的影响第37-40页
   ·衬底温度对薄膜性能的影响第40-42页
   ·溅射总气压的影响第42-46页
   ·氧气分压的影响第46-48页
   ·本章小结第48-49页
 参考文献第49-52页
第四章 共溅射法二氧化钛表面镀银及薄膜的光致亲水性第52-62页
   ·引言第52-53页
   ·实验第53页
   ·共溅射薄膜表面形貌以及光催化特性第53-56页
   ·亲水性第56-60页
     ·基本原理第56-57页
     ·接触角第57-58页
     ·不同薄膜亲水性的测量第58-60页
   ·本章小结第60页
 参考文献第60-62页
第五章 结论第62-65页
致谢第65页

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