MEMS高温压力传感器若干关键技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·课题的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外发展现状与趋势 | 第10-11页 |
| ·论文的研究内容 | 第11-13页 |
| 2 溅射薄膜压力传感器 | 第13-22页 |
| ·应变电阻转换原理 | 第13-14页 |
| ·溅射薄膜压力传感器的转换原理 | 第14-16页 |
| ·溅射式的敏感元件 | 第16-18页 |
| ·变换电路及补偿电路 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 压力传感器芯片应变模拟分析 | 第22-31页 |
| ·方形膜片应变的理论分析 | 第22-23页 |
| ·ANSYS 弹性膜应变分布模拟 | 第23-29页 |
| ·压力传感器弹性膜优化设计 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4 压力传感器芯片设计 | 第31-39页 |
| ·方形应力膜片的设计 | 第31-32页 |
| ·电阻条的设计 | 第32-35页 |
| ·传感器的版图设计 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 5 传感器的工艺设计和试制 | 第39-57页 |
| ·工艺流程设计 | 第39-41页 |
| ·传感器制备的主要工艺 | 第41-47页 |
| ·金属CR 作为掩模的各向异性腐蚀 | 第47-53页 |
| ·传感器的制作流程 | 第53-54页 |
| ·器件形貌分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 总结和展望 | 第57-59页 |
| ·全文的总结 | 第57页 |
| ·对将来的展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 附录2 所用的压力传感器版图 | 第64页 |
