| 第一章 引言 | 第1-17页 |
| ·衍射光学元件 | 第6-7页 |
| ·DOE的制作技术 | 第7-9页 |
| ·传统的机械方法 | 第7-8页 |
| ·二元光学方法 | 第8页 |
| ·直写技术 | 第8-9页 |
| ·GSM技术 | 第9-15页 |
| ·GSM技术国外发展情况 | 第10-14页 |
| ·GSM技术国内发展情况 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-17页 |
| 第二章 菲涅耳透镜衍射效率及其设计 | 第17-24页 |
| ·菲涅耳波带(FZP)透镜的标量衍射理论 | 第17-21页 |
| ·设计方法 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 GSM法制作DOE过程的模拟及衍射效率分析 | 第24-53页 |
| ·模拟GSM技术原理 | 第24-25页 |
| ·激光直写GSM制作DOE | 第25-33页 |
| ·HEBS玻璃 | 第25-26页 |
| ·激光直写GSM工艺流程 | 第26-29页 |
| ·显影过程分析 | 第29-32页 |
| ·产生的误差来源 | 第32-33页 |
| ·菲涅耳透镜制作过程模拟及衍射效率分析 | 第33-52页 |
| ·掩模曝光量和对应DOE面形模拟 | 第33-40页 |
| ·刻蚀深度误差对衍射效率的影响 | 第40-44页 |
| ·线宽误差对菲涅耳透镜衍射效率的影响 | 第44-50页 |
| ·用Q因子估算菲涅耳透镜侧壁倾斜误差 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 总结与展望 | 第53-56页 |
| ·总结 | 第53页 |
| ·展望 | 第53-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 个人简历 | 第63-64页 |
| 发表论文 | 第64页 |