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钼基体表面气相沉积钨涂层微观结构研究

第一章 引言第1-16页
   ·热离子能量转换器的工作原理第8-9页
   ·热离子能量转换器对发射极表面的要求第9-10页
   ·国内外发射极涂层制备工艺研究情况第10-12页
   ·国内外气相沉积钨涂层微观组织的分析情况第12-15页
   ·本项研究的目的、意义及主要研究内容第15-16页
第二章 试样制备技术的研究第16-22页
   ·光学显微镜、扫描电镜试样的制备第16-19页
     ·试样的磨制第16页
     ·试样的抛光第16-18页
       ·机械化学抛光工艺的研究第17页
       ·电解抛光及电解侵蚀工艺研究第17-18页
     ·试样的化学侵蚀技术的研究第18-19页
     ·试样的氩离子侵蚀第19页
   ·透射电镜试样的制备第19-20页
   ·本章小结第20-22页
     ·单晶试样制备的要点及工艺过程第20-21页
     ·试剂侵蚀的最佳时间及其影响因素第21-22页
第三章 试样微观组织和成分的扫描电镜分析第22-32页
   ·钨单晶涂层及涂层与基体界面的形貌分析第22-26页
     ·形貌分析的实验方法第22页
     ·形貌分析的实验结果及讨论第22-26页
   ·钨单晶涂层及扩散层的成分分析第26-30页
     ·成分分析的实验方法第26-27页
     ·成分分析的实验结果第27-29页
     ·成分分析的实验结果讨论第29-30页
       ·钼、钨的互扩散特性分析第29-30页
       ·界面碳、氧等杂质元素对涂层性能的影响分析第30页
   ·本章小结第30-32页
第四章 试样的微观组织和成分的透射电镜分析第32-39页
   ·透射电镜分析实验方法第32页
   ·透射电镜分析实验结果第32-36页
     ·透射电镜下的成分分析结果第32-33页
     ·涂层及涂层与基体界面的TEM形貌第33-34页
     ·涂层、互扩散层、基体的晶体取向第34-35页
     ·涂层、互扩散层、基体的高分辨晶格像第35-36页
   ·透射电镜实验结果分析第36-38页
     ·基体点阵取向对涂层的择优取向影响分析第36-37页
     ·气相沉积温度对钨单晶涂层微观组织影响分析第37-38页
   ·本章小结第38-39页
第五章 钨{110}晶面蚀刻工艺研究及表面形貌分析第39-46页
   ·实验方法及试样的制备第39-40页
   ·实验结果第40-42页
   ·实验结果分析第42-45页
     ·实验结果晶面构成分析第42-44页
     ·俄罗斯试样可以获得最高{110}晶面份额的理论值分析第44页
     ·高份额{110}晶面形成原因分析第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第六章 研究工作结论与建议第46-48页
   ·研究工作结论第46-47页
   ·建议开展的研究工作第47-48页
参考文献第48-53页
致谢第53-54页
攻读学位期间发表的论文与撰写的报告第54-55页
附表第55-64页

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