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新型功能光学薄膜的磁控溅工艺及物性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第一章 绪论第9-22页
   ·光学功能薄膜的研究背景第9-10页
   ·SiO_x材料体系薄膜的应用第10-13页
   ·耐高温光学材料和薄膜第13-16页
   ·光催化材料和自清洁薄膜第16-18页
   ·本论文的研究内容第18-19页
 参考文献第19-22页
第二章 SiO_x材料光学性能的高温稳定性及其影响机理第22-42页
   ·引言第22-23页
   ·样品制备和测试第23-25页
     ·ASC-800磁控溅射系统简介第23-24页
     ·实验方法和样品测量分析手段第24-25页
   ·结果和讨论第25-38页
   ·结论第38-40页
 参考文献第40-42页
第三章 耐高温光学材料的探索以及YSZ薄膜在耐高温光学膜中的应用第42-57页
   ·引言第42-43页
   ·样品制备与测试方法第43-44页
   ·实验结果和讨论第44-54页
     ·Nb_2O_5薄膜的光学性能和微结构在高温下的演化规律第44-48页
     ·YSZ薄膜的光学性能和微结构在高温下的稳定性第48-54页
       ·YSZ薄膜微结构和形貌在高温下的稳定性第48-50页
       ·YSZ薄膜光学性能在高温下的稳定性第50-54页
   ·总结第54-55页
 参考文献第55-57页
第四章 ZnO前驱层对于TiO_2薄膜的结晶增强效应及其在光催化及自清洁中的应用第57-86页
   ·自清洁功能材料薄膜第57-63页
     ·半导体材料的光催化机理第58-61页
     ·表面的光致超亲水现象第61-63页
   ·磁控溅射制备自清洁功能薄膜的研究第63-82页
     ·自由基辅助溅射系统(RAS)介绍第63-64页
     ·实验设计和样品测试方法第64-65页
     ·磁控溅射制备TiO_2自清洁薄膜第65-71页
     ·用ZnO前驱层增强TiO_2薄膜的光催化活性和亲水性第71-79页
     ·不同结构的TiO_2/ZnO双层薄膜的光催化性能比较第79-82页
       ·ZnO层厚度变化对复合薄膜光催化能力的影响第79-80页
       ·TiO_2层的厚度对复合薄膜光催化能力的影响第80-82页
   ·总结第82-83页
 参考文献第83-86页
攻读学位期间完成的论文与专利情况第86-87页
致谢第87页

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