摘要 | 第1-8页 |
AbstraCt | 第8-14页 |
第一章 绪论 | 第14-78页 |
·引言 | 第14页 |
·透明导电薄膜的特性 | 第14-15页 |
·透明导电薄膜发展与研究现状 | 第15-27页 |
·金属透明导电膜 | 第16-17页 |
·n型透明导电氧化物薄膜 | 第17-22页 |
·p型透明导电氧化物薄膜 | 第22-24页 |
·透明导电薄膜的应用和发展要求 | 第24-27页 |
·钙钛矿透明导电氧化物薄膜的研究意义和进展 | 第27-35页 |
·钙钛矿结构 | 第27-29页 |
·钙钛矿材料的物理特性 | 第29-33页 |
·钙钛矿透明导电氧化物薄膜的进展 | 第33-35页 |
·透明导电膜的透明导电机制研究 | 第35-44页 |
·透明导电膜的导电机制 | 第35-39页 |
·透明导电膜的透光机制 | 第39-44页 |
·全透明铁电薄膜器件的研究进展 | 第44-61页 |
·半导体器件的理论基础 | 第44-49页 |
·透明薄膜电子器件的研究进展 | 第49-53页 |
·铁电薄膜器件的研究进展 | 第53-59页 |
·全透明铁电薄膜器件的研究进展 | 第59-61页 |
·本章小结 | 第61-62页 |
参考文献 | 第62-78页 |
第二章 样品的制备及性能测试方法 | 第78-86页 |
·靶材的制备 | 第78页 |
·外延薄膜及薄膜器件的制备方法 | 第78-79页 |
·外延薄膜的结构表征 | 第79-84页 |
·X射线衍射 | 第79-81页 |
·X射线倒易空间图 | 第81-83页 |
·外延薄膜及薄膜器件的表面和截面表征 | 第83-84页 |
·薄膜及薄膜器件的光学和电学性能测试 | 第84-85页 |
·薄膜光学透光率 | 第84页 |
·薄膜的电输运性能测量 | 第84-85页 |
·铁电薄膜器件的铁电特性和伏安特性测量 | 第85页 |
·本章小结 | 第85-86页 |
第三章 (La,Ba)SnO_3透明导电膜的制备、结构及电光学性质 | 第86-98页 |
·引言 | 第86-87页 |
·样品制备及实验测量 | 第87-88页 |
·靶材的制备 | 第87页 |
·薄膜样品的制备与测试 | 第87-88页 |
·实验结果与讨论 | 第88-93页 |
·LBSO薄膜的结构表征 | 第88-90页 |
·LBSO薄膜的光学性质研究 | 第90-91页 |
·LBSO薄膜的电学性质研究 | 第91-93页 |
·本章小结 | 第93-94页 |
参考文献 | 第94-98页 |
第四章 (La,Sr)SnO_3透明导电膜的制备、结构及电光学性质 | 第98-110页 |
·引言 | 第98页 |
·样品制备及实验测量 | 第98-99页 |
·靶材的制备 | 第98-99页 |
·薄膜样品的制备与测试 | 第99页 |
·实验结果与讨论 | 第99-106页 |
·通过微结构表征优化LSSO薄膜的沉积参数 | 第100-102页 |
·LSSO薄膜的电输运性质研究 | 第102-104页 |
·LSSO薄膜的光学性质研究 | 第104-105页 |
·LSSO薄膜掺杂浓度的优化 | 第105-106页 |
·本章小结 | 第106-108页 |
参考文献 | 第108-110页 |
第五章 (La,Sr)SnO_3在透明铁电薄膜器件中的应用 | 第110-128页 |
·引言 | 第110-111页 |
·样品制备及实验测量 | 第111-112页 |
·靶材的制备 | 第111页 |
·外延薄膜器件的制备及实验表征 | 第111-112页 |
·LSSO/PZT/LSSO全透明铁电薄膜电容器的制备和研究 | 第112-115页 |
·LSSO/PZT/LSSO铁电电容器的结构表征 | 第112-113页 |
·LSSO/PZT/LSSO铁电电容器的光学与铁电特性研究 | 第113-114页 |
·LSSO/PZT/LSSO铁电电容器疲劳特性研究 | 第114-115页 |
·(Pt)/BFMO/LSSO透明铁电薄膜电容器的制备和研究 | 第115-118页 |
·(Pt)/BFMO/LSSO铁电电容器的结构表征 | 第116页 |
·(Pt)/BFMO/LSSO铁电电容器的光学与铁电特性研究 | 第116-117页 |
·(Pt)/BFMO/LSSO铁电电容器的疲劳特性研究 | 第117-118页 |
·透明p-n结薄膜器件的制备和研究 | 第118-123页 |
·PZT/LSSO p-n结的制备和研究 | 第118-121页 |
·BFO/LSSO p-n结的制备和研究 | 第121-123页 |
·本章小结 | 第123-125页 |
参考文献 | 第125-128页 |
攻读博士学位期间的学术成果与获奖情况 | 第128-130页 |
致谢 | 第130页 |