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大口径光栅全息曝光拼接精度的理论研究

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 引言第8-14页
   ·光栅的发展第8-9页
   ·大面积衍射光栅的需求第9-11页
   ·国内外拼接光栅的研究进展第11-13页
   ·本课题的研究工作第13-14页
第二章 衍射光栅的拼接方法第14-23页
   ·脉冲压缩系统为何需要大面积光栅第14-16页
   ·光栅拼接中的偏差参量和要求第16页
   ·光栅的拼接方法第16-22页
     ·补偿拼接法第16-17页
     ·干涉拼接法第17-19页
     ·远场光斑拼接法第19-20页
     ·平移曝光法第20-22页
   ·拼接方法的比较第22-23页
第三章 脉冲压缩光栅拼接理论及各种拼接误差对拼接光栅远场的影响第23-37页
   ·光栅拼接原理第23-27页
   ·光栅拼缝对远场光强分布的影响第27-31页
   ·面内角度偏差Δθ_z 对远场光强分布的影响第31-35页
   ·两种误差同时存在时对远场光强分布的影响第35-37页
第四章 像差对拼接压缩光栅远场光强分布影响第37-54页
   ·球差对远场光强分布的影响第37-44页
     ·存在球差时对拼缝的要求第39-41页
     ·存在球差时对面内角度偏差的要求第41-44页
   ·彗差对远场光强分布的影响第44-48页
     ·存在彗差时对拼缝的要求第44-47页
     ·存在彗差时对面内角度偏差的要求第47-48页
   ·存在像散时对远场光强分布的影响第48-52页
     ·存在像散时对拼缝的要求第48-51页
     ·存在像散时对面内角度偏差的要求第51-52页
   ·小结第52-54页
第五章 综合像差第54-69页
   ·每个子光栅像差相同时对远场光强分布的影响第54-59页
     ·存在综合像差时对拼缝的要求第54-57页
     ·存在综合像差时对面内角度偏差的要求第57-59页
   ·每个子光栅随机像差不相同时对远场光强分布的影响第59-63页
     ·每个子光栅随机像差不相同对拼缝的要求第59-61页
     ·每个子光栅随机像差不相同时对面内角度偏差的要求第61-63页
   ·子光栅像差不同时对远场光强分布的影响第63-67页
     ·光栅拼缝对远场光强分布的影响第63-65页
     ·光栅面内角度偏差对远场光强分布的影响第65-67页
   ·小结第67-69页
总结第69-71页
参考文献第71-74页
攻读学位期间发表的论文第74-75页
致谢第75页

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