框体零件内表面的形位误差检测与加工技术研究
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·课题的来源及意义 | 第12-15页 |
| ·课题的来源 | 第12页 |
| ·课题研究的背景与意义 | 第12-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-20页 |
| ·静电悬浮加速度计工作原理 | 第15-16页 |
| ·静电悬浮加速度计研究现状 | 第16-18页 |
| ·形位误差测量研究现状 | 第18-19页 |
| ·超精密加工技术研究现状 | 第19-20页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 敏感结构工艺路线分析 | 第22-31页 |
| ·敏感结构特点及技术指标 | 第22-23页 |
| ·电极框误差修正加工方案 | 第23-25页 |
| ·CCOS的形位误差修正方法 | 第23-24页 |
| ·电极框加工方案 | 第24-25页 |
| ·电极框形位误差检测方案 | 第25-29页 |
| ·电极框精修工艺路线分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 敏感结构形位误差的测量与评定 | 第31-46页 |
| ·电极框内表面面形误差的测量与评定 | 第31-35页 |
| ·内电极面面形误差测量原理 | 第31-32页 |
| ·内表面面形误差测量实验系统 | 第32-34页 |
| ·内表面面形误差评定及不确定度分析 | 第34-35页 |
| ·平行度误差的测量与评定 | 第35-40页 |
| ·平行度测量原理 | 第35-36页 |
| ·平行度测量实验系统 | 第36-38页 |
| ·平行度误差评定及不确定度分析 | 第38-40页 |
| ·垂直度误差的测量与评定 | 第40-45页 |
| ·垂直度测量原理 | 第40-42页 |
| ·垂直度测量实验系统 | 第42-44页 |
| ·垂直度误差评定及不确定度分析 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 敏感结构综合误差评价算法 | 第46-59页 |
| ·电极框内表面三维误差的数学模型 | 第46-49页 |
| ·综合误差的最小二乘评价算法 | 第49-54页 |
| ·经典最小二乘法及其不足 | 第49-51页 |
| ·改进的最小二乘算法 | 第51-53页 |
| ·最小二乘法评价模型 | 第53-54页 |
| ·最优化模型及评价结果 | 第54-58页 |
| ·最优化原理 | 第54-55页 |
| ·最优化模型及其求解 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 液体喷射抛光加工电极框实验 | 第59-68页 |
| ·液体喷射抛光技术原理及特点 | 第59-61页 |
| ·液体喷射抛光技术介绍 | 第59-60页 |
| ·液体喷射抛光技术特点及优势 | 第60-61页 |
| ·液体喷射抛光工艺参数 | 第61-63页 |
| ·液体喷射抛光技术工艺参数 | 第61-62页 |
| ·液体喷射抛光需要解决的其他问题 | 第62-63页 |
| ·电极框的修形实验及分析 | 第63-67页 |
| ·实验设备介绍 | 第63-64页 |
| ·去除函数的实验建模 | 第64-65页 |
| ·修形实验 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第68-70页 |
| ·全文总结 | 第68-69页 |
| ·工作展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第75-76页 |
| 附录A 矩阵理论的一些常用定理 | 第76页 |
