| 中文摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·薄膜技术的发展与现状 | 第11-13页 |
| ·薄膜技术的发展历程 | 第11页 |
| ·薄膜的形成过程与制备技术 | 第11-13页 |
| ·纳米多层膜 | 第13-17页 |
| ·纳米多层膜的研究背景 | 第13-14页 |
| ·纳米多层膜的构成与性能特点 | 第14-15页 |
| ·纳米多层膜硬度增强机制的理论研究 | 第15-17页 |
| ·本文的研究内容 | 第17-22页 |
| ·本研究的选题背景 | 第17-18页 |
| ·本文研究的薄膜材料 | 第18-20页 |
| ·本研究的主要内容 | 第20-21页 |
| ·本研究的目的和意义 | 第21-22页 |
| 第二章 样品制备与性能表征 | 第22-39页 |
| ·样品制备基本原理 | 第22-27页 |
| ·溅射现象与机理 | 第22-23页 |
| ·溅射镀膜的特征 | 第23页 |
| ·溅射镀膜的基本类型 | 第23-27页 |
| ·多层膜样品的制备过程 | 第27-29页 |
| ·实验装置与实验材料 | 第27-28页 |
| ·样品预处理 | 第28-29页 |
| ·纳米多层膜的制备过程 | 第29页 |
| ·纳米多层膜的结构表征 | 第29-31页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第29-31页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第31页 |
| ·纳米多层膜的机械性能表征 | 第31-39页 |
| ·厚度与残余应力测试 | 第31-33页 |
| ·纳米硬度与弹性模量测试 | 第33-36页 |
| ·薄膜与基底结合力测试 | 第36-38页 |
| ·薄膜摩擦性能测试 | 第38-39页 |
| 第三章 ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜的结构与性能研究 | 第39-59页 |
| ·ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜实验参数的选取 | 第39-40页 |
| ·多层膜的实验参数 | 第39-40页 |
| ·ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜的实验参数选取 | 第40页 |
| ·ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜层状结构表征 | 第40-43页 |
| ·多层膜低角X射线衍射(LA-XRD)分析 | 第41-42页 |
| ·多层膜横断面扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第42-43页 |
| ·实验参数对ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜晶体结构和性能的影响 | 第43-56页 |
| ·调制周期对ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第43-49页 |
| ·调制比对ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第49-52页 |
| ·N_2/Ar的比例对ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第52-55页 |
| ·偏压对ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第55-56页 |
| ·ZrAlN/ZrB_2纳米多层膜制硬机理分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 W/ZrB_2纳米多层膜的结构与性能研究 | 第59-72页 |
| ·W/ZrB_2纳米多层膜实验参数的选取 | 第59页 |
| ·W/ZrB_2纳米多层膜层状结构表征 | 第59-61页 |
| ·多层膜低角X射线衍射(LA-XRD)分析 | 第59-60页 |
| ·多层膜横断面扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第60-61页 |
| ·实验参数对W/ZrB_2纳米多层膜晶体结构和性能的影响 | 第61-70页 |
| ·调制周期对W/ZrB_2纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第61-65页 |
| ·调制比对W/ZrB_2纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第65-66页 |
| ·工作气压对W/ZrB_2纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第66-70页 |
| ·W/ZrB_2纳米多层膜制硬机理分析 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 问题与思考 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第79-80页 |
| 硕士在读期间获得的奖励 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
