| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 1 前言 | 第10-12页 |
| 2 文献综述 | 第12-28页 |
| ·ZnO简介 | 第12-16页 |
| ·ZnO的基本性质及晶体结构 | 第12-14页 |
| ·ZnO薄膜的光电特性 | 第14-15页 |
| ·ZnO薄膜的其他性质 | 第15-16页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第16-19页 |
| ·压电器件 | 第16-17页 |
| ·光电器件 | 第17页 |
| ·传感器 | 第17页 |
| ·压敏元件 | 第17-18页 |
| ·紫外探测器 | 第18页 |
| ·太阳能电池 | 第18-19页 |
| ·N型掺杂ZnO薄膜研究进展 | 第19-21页 |
| ·ZnO:Al薄膜的研究现状 | 第19-20页 |
| ·ZnO:Ga薄膜的研究现状 | 第20-21页 |
| ·其他元素掺杂的ZnO薄膜研究现状 | 第21页 |
| ·Zn_(1-X)Mg_XO薄膜研究进展 | 第21-23页 |
| ·柔性衬底薄膜研究进展 | 第23-25页 |
| ·ZnO基薄膜的制备方法 | 第25-26页 |
| ·磁控溅射技术(Magnetron Sputtering) | 第25页 |
| ·喷雾热分解法(Spray Pyrolysis) | 第25页 |
| ·分子束外延(Molecular Bean Epitaxy) | 第25-26页 |
| ·脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition) | 第26页 |
| ·金属有机物化学气相沉积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) | 第26页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第26页 |
| ·立题依据以及研究内容 | 第26-28页 |
| 3 实验设备及原理、薄膜制备过程及性能表征 | 第28-34页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·PLD实验机理 | 第28-29页 |
| ·生长参数对薄膜质量的影响 | 第29-30页 |
| ·PLD特点 | 第30-31页 |
| ·实验设备 | 第31-32页 |
| ·实验方案 | 第32-33页 |
| ·实验靶材的制备 | 第32页 |
| ·衬底清洗 | 第32页 |
| ·薄膜沉积 | 第32-33页 |
| ·样品性能的表征 | 第33-34页 |
| 4 柔性衬底上生长ZnO:Ga薄膜的特性分析 | 第34-44页 |
| ·Mg掺杂对ZnO:Ga薄膜各方面性能的影响 | 第34-39页 |
| ·结构性能 | 第34-35页 |
| ·表面形貌 | 第35-36页 |
| ·电学性能 | 第36-37页 |
| ·光学性能 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39页 |
| ·预沉积缓冲层对ZnO:Ga薄膜各方面性能的影响 | 第39-44页 |
| ·结构性能以及表面形貌 | 第39-41页 |
| ·电学性能 | 第41页 |
| ·光学性能 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-44页 |
| 5 柔性衬底上生长ZnMgO:Ga薄膜的特性分析 | 第44-59页 |
| ·衬底温度对Zn_(1-X)Mg_XO:Ga薄膜的影响 | 第44-47页 |
| ·衬底温度对Zn_(1-X)Mg_XO:Ga薄膜结构性能的影响 | 第45页 |
| ·衬底温度对Zn_(1-X)Mg_XO:Ga薄膜电学性能的影响 | 第45-46页 |
| ·衬底温度对Zn_(1-X)Mg_XO:Ga薄膜光学性能的影响 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47页 |
| ·沉积气压对Zn_(1-X)Mg_XO:Ga薄膜的影响 | 第47-50页 |
| ·沉积气压对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜结构性能的影响 | 第48页 |
| ·沉积气压对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜电学性能的影响 | 第48-49页 |
| ·沉积气压对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜光学性能的影响 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50页 |
| ·薄膜厚度对Zn_(1-X)Mg_XO:Ga薄膜的影响 | 第50-55页 |
| ·薄膜厚度随沉积时间变化的影响 | 第51页 |
| ·薄膜厚度对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜结构及表面形貌的影响 | 第51-52页 |
| ·薄膜厚度对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜电学性能的影响 | 第52-53页 |
| ·薄膜厚度对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜光学性能的影响 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55页 |
| ·缓冲层对Zn_(1-X)Mg_XO:Ga薄膜的影响 | 第55-59页 |
| ·缓冲层对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜结构性能的影响 | 第56-57页 |
| ·缓冲层对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜电学性能的影响 | 第57-58页 |
| ·缓冲层对Zn_(1-x)Mg_xO:Ga薄膜光学性能的影响 | 第58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 6 总结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士学位期间发表或录用的论文及专利 | 第66页 |
