| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 模拟集成电路长寿命评估技术概况 | 第11-14页 |
| 1.1.1 模拟集成电路长寿命评估技术的现状 | 第11-12页 |
| 1.1.2 加速退化试验的基本概念 | 第12页 |
| 1.1.3 加速退化试验的现状及发展趋势 | 第12-14页 |
| 1.2 本文主要工作 | 第14页 |
| 1.3 本论文的结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 模拟集成电路工作及贮存退化理论研究 | 第15-21页 |
| 2.1 模拟集成电路退化敏感参数和失效判据研究 | 第15页 |
| 2.2 模拟集成电路工作及贮存退化理论与模型研究 | 第15-20页 |
| 2.2.1 典型模拟集成电路失效模式研究 | 第15-16页 |
| 2.2.2 模拟集成电路工作退化理论研究 | 第16-18页 |
| 2.2.2.1 过电应力损伤 | 第17页 |
| 2.2.2.2 电迁移和热迁移 | 第17页 |
| 2.2.2.3 封装失效 | 第17-18页 |
| 2.2.2.4 离子沾污 | 第18页 |
| 2.2.3 模拟集成电路工作退化模型研究 | 第18页 |
| 2.2.4 模拟集成电路贮存退化理论与模型研究 | 第18-20页 |
| 2.2.4.1 金属布线(Al和Cu)的腐蚀 | 第18-19页 |
| 2.2.4.2 金属应力迁移(SM) | 第19-20页 |
| 2.2.4.3 温度循环引起的疲劳失效 | 第20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 模拟集成电路的长寿命评估方法研究 | 第21-57页 |
| 3.1 模拟集成电路加速退化试验方案设计及加速模型 | 第21-23页 |
| 3.1.1 恒定温度应力加速试验方案设计及加速模型 | 第21-22页 |
| 3.1.2 温度加湿度复合应力加速试验方案设计及加速模型 | 第22页 |
| 3.1.3 温度循环应力加速试验方案设计及加速模型 | 第22页 |
| 3.1.4 模拟集成电路加速退化试验的具体实现方案 | 第22-23页 |
| 3.2 模拟集成电路加速退化试验数据 | 第23-43页 |
| 3.2.1 加速工作退化试验数据 | 第23-30页 |
| 3.2.1.1 SW-XXX | 第23-26页 |
| 3.2.1.2 SF-XXX | 第26-28页 |
| 3.2.1.3 SDA-XXX | 第28-30页 |
| 3.2.2 加速贮存退化试验数据 | 第30-35页 |
| 3.2.2.1 SW-XXX | 第30-32页 |
| 3.2.2.2 SF-XXX | 第32-33页 |
| 3.2.2.3 SDA-XXX | 第33-35页 |
| 3.2.3 温度循环加速贮存退化试验数据 | 第35-39页 |
| 3.2.3.1 SW-XXX | 第35-36页 |
| 3.2.3.2 SF-XXX | 第36-37页 |
| 3.2.3.3 SDA-XXX | 第37-39页 |
| 3.2.4 温度加湿度应力加速贮存退化试验数据 | 第39-43页 |
| 3.2.4.1 SW-XXX | 第39-40页 |
| 3.2.4.2 SF-XXX | 第40-42页 |
| 3.2.4.3 SDA-XXX | 第42-43页 |
| 3.3 模拟集成电路长寿命评估技术验证研究 | 第43-48页 |
| 3.3.1 常温工作退化试验数据 | 第43-46页 |
| 3.3.1.1 SW-XXX | 第43-44页 |
| 3.3.1.2 SF-XXX | 第44-45页 |
| 3.3.1.3 SDA-XXX | 第45-46页 |
| 3.3.2 常温贮存退化试验数据 | 第46-48页 |
| 3.3.2.1 SW-XXX | 第46页 |
| 3.3.2.2 SF-XXX | 第46-47页 |
| 3.3.2.3 SDA-XXX | 第47-48页 |
| 3.3.3 模拟集成电路长寿命评估效果 | 第48页 |
| 3.4 高可靠模拟集成电路长寿命评估标准研究 | 第48-56页 |
| 3.4.1 目的 | 第49页 |
| 3.4.2 适用范围 | 第49页 |
| 3.4.3 引用文件 | 第49页 |
| 3.4.4 术语和定义 | 第49-50页 |
| 3.4.5 一般要求 | 第50页 |
| 3.4.6 试验方法 | 第50-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 模拟集成电路长寿命评估平台建设 | 第57-73页 |
| 4.1 加速退化试验硬件平台建设 | 第57-59页 |
| 4.1.1 老化板设计 | 第57页 |
| 4.1.2 加速退化试验硬件平台 | 第57-58页 |
| 4.1.3 电参数及漏率测试平台 | 第58-59页 |
| 4.2 失效分析平台建设 | 第59-66页 |
| 4.2.1 失效分析平台的组织架构 | 第59页 |
| 4.2.2 失效分析平台的硬件资源 | 第59-60页 |
| 4.2.3 失效分析平台在本论文中的应用 | 第60-66页 |
| 4.2.3.1 SW-XXX失效分析报告 | 第60-62页 |
| 4.2.3.2 SF-XXX失效分析报告 | 第62-64页 |
| 4.2.3.3 SDA-XXX失效分析报告 | 第64-65页 |
| 4.2.3.4 失效分析结论 | 第65-66页 |
| 4.3 加速退化试验数据自动采集与寿命评估分析模块建设 | 第66-72页 |
| 4.3.1 运算放大器测试原理 | 第66-70页 |
| 4.3.2 数据自动采集与分析评估系统设计 | 第70-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 结论 | 第73-75页 |
| 5.1 本文的主要贡献 | 第73-74页 |
| 5.2 下一步工作的展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第79页 |
