压电微悬臂梁质敏传感器性能的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-18页 |
| ·课题的研究背景、目的和意义 | 第13-14页 |
| ·压电微悬臂梁传感技术的发展现状及应用 | 第14-16页 |
| ·压电微悬臂梁的工作模式 | 第16-17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 压电基本理论 | 第18-23页 |
| ·压电材料 | 第18页 |
| ·压电效应 | 第18-20页 |
| ·力-电耦合方程 | 第20-21页 |
| ·压电悬臂梁工作原理 | 第21页 |
| ·连接方式 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 微悬臂梁理论基础 | 第23-31页 |
| ·微悬臂梁共振频率 | 第23-25页 |
| ·空气中微悬臂梁共振频率 | 第23-24页 |
| ·液体中微悬臂梁共振频率 | 第24-25页 |
| ·微悬臂梁灵敏度分析 | 第25-28页 |
| ·空气中微悬臂梁灵敏度 | 第25-28页 |
| ·液体中微悬臂梁灵敏度理论分析 | 第28页 |
| ·微悬臂梁的品质因数 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 微悬臂梁仿真分析研究 | 第31-61页 |
| ·力-电耦合问题的数理基础 | 第31-36页 |
| ·力-电耦合问题的有限元分析方法 | 第31-32页 |
| ·压电驱动器、传感器的有限元分析 | 第32-36页 |
| ·微悬臂梁谐振频率分析 | 第36-40页 |
| ·模型的几何尺寸和材料常数 | 第36-37页 |
| ·网格划分 | 第37-38页 |
| ·有限元仿真结果与分析 | 第38-40页 |
| ·微悬臂梁灵敏度分析 | 第40-50页 |
| ·结构尺寸对灵敏度的影响 | 第40-45页 |
| ·微小质量对微悬臂梁灵敏度的影响 | 第45-47页 |
| ·双层结构对微悬臂梁灵敏度的影响 | 第47-49页 |
| ·结构形式对微悬臂梁灵敏度的影响 | 第49-50页 |
| ·空气中微悬臂梁仿真分析研究 | 第50-54页 |
| ·PZT单层悬臂梁的频率响应分析 | 第50-52页 |
| ·横向振动 OPCM 频率响应分析 | 第52-53页 |
| ·纵向振动 OPCM 频率响应分析 | 第53-54页 |
| ·液体中微悬臂梁仿真分析研究 | 第54-59页 |
| ·模型假设 | 第55页 |
| ·模型及材料参数 | 第55页 |
| ·计算网格及步长 | 第55-56页 |
| ·边界条件及初始条件 | 第56-57页 |
| ·仿真结果分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 结论与展望 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
