基于微系统技术的颗粒物分离以及浓度检测装置
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 大气颗粒物概述 | 第11-12页 |
| 1.2 微流控技术简介 | 第12-13页 |
| 1.3 MEMS传感器简介 | 第13-20页 |
| 1.3.1 QCM传感器 | 第14-17页 |
| 1.3.2 SAW传感器 | 第17-20页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第20-23页 |
| 1.5 本论文工作 | 第23-25页 |
| 2 虚拟分离器的设计、仿真与加工 | 第25-41页 |
| 2.1 虚拟分离器的工作原理 | 第25-26页 |
| 2.2 虚拟分离器VI1的设计与加工 | 第26-36页 |
| 2.2.1 VI1的理论计算 | 第26-28页 |
| 2.2.2 VI1的2D结构仿真 | 第28-30页 |
| 2.2.3 VI1的3D结构仿真 | 第30-33页 |
| 2.2.4 VI1的收集效率曲线 | 第33-34页 |
| 2.2.5 VI1的整体结构设计 | 第34-35页 |
| 2.2.6 VI1的整体结构加工 | 第35-36页 |
| 2.3 虚拟分离器VI2的设计与加工 | 第36-40页 |
| 2.3.1 VI2的理论计算 | 第36-37页 |
| 2.3.2 VI2的收集效率曲线 | 第37-39页 |
| 2.3.3 VI2的整体结构加工 | 第39-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 3 QCM传感器测试与PM分离实验 | 第41-49页 |
| 3.1 QCM传感器的结构尺寸 | 第41-42页 |
| 3.2 QCM传感器的信号测试 | 第42-44页 |
| 3.3 QCM传感器的表层涂布 | 第44-45页 |
| 3.4 PM2.5的分离实验 | 第45-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 基于QCM传感器的PM浓度检测 | 第49-57页 |
| 4.1 PM2.5浓度检测平台的搭建 | 第49-50页 |
| 4.2 PM2.5浓度检测实验 | 第50-53页 |
| 4.2.1 QCM传感器检测 | 第50-51页 |
| 4.2.2 PM2.5浓度计算 | 第51-53页 |
| 4.3 QCM传感器的灵敏度 | 第53-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 SAW传感器的设计、加工与测试 | 第57-64页 |
| 5.1 SAW传感器的结构设计 | 第57-59页 |
| 5.2 SAW传感器的加工流程 | 第59-61页 |
| 5.3 SAW传感器的信号测试 | 第61-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 基于SAW传感器的PM浓度检测 | 第64-72页 |
| 6.1 PM1浓度检测平台的搭建 | 第64-65页 |
| 6.2 PM1浓度检测实验 | 第65-70页 |
| 6.3 SAW传感器的灵敏度 | 第70-71页 |
| 6.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 7 总结与展望 | 第72-74页 |
| 7.1 论文总结 | 第72页 |
| 7.2 工作展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-81页 |
| 作者在学习期间取得的科研成果 | 第81页 |
