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SOI MOSFET单粒子效应电荷收集机制研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
第一章 绪论第7-11页
    1.1 研究背景第7-9页
    1.2 研究的目的和意义第9页
    1.3 论文结构第9-11页
第二章 SOI MOSFET 辐射环境下单粒子效应分析第11-25页
    2.1 SOI MOSFET 的结构与特性第11-13页
        2.1.1 SOI 技术简介第11页
        2.1.2 SOI MOSFET 的结构第11-12页
        2.1.3 SOI MOSFET 的特性第12-13页
    2.2 SOI MOSFET 的单粒子效应特性第13-18页
        2.2.1 单粒子效应中不同粒子与器件材料的相互作用第13-14页
        2.2.2 SOI MOSFET 电荷收集特性第14-15页
        2.2.3 SOI MOSFET 寄生双极效应第15-17页
        2.2.4 SOI SRAM 单元单粒子翻转特性第17-18页
    2.3 SOI MOSFET 的单粒子电荷收集机制第18-23页
        2.3.1 SOI MOSFET 单粒子电荷收集机理和模型第18-22页
        2.3.2 影响脉冲特性和电荷收集的因素分析第22-23页
    2.4 小结第23-25页
第三章 SOI MOSFET 电荷收集模型第25-43页
    3.1 SOI MOSFET 的电荷收集模型的建立第25-36页
        3.1.1 敏感区域和模型假设第25-26页
        3.1.2 改进的扩散和漂移电荷收集模型第26-30页
        3.1.3 考虑寄生双极晶体管效应的电荷收集模型第30-33页
        3.1.4 模型中的动态参数第33-36页
    3.2 SOI MOSFET 电荷收集模型的计算机模拟第36-41页
        3.2.1 模拟软件的选用和编写第36-39页
        3.2.2 电荷收集与瞬态脉冲模型模拟方案第39-41页
    3.3 小结第41-43页
第四章 SOI MOSFET 单粒子电荷收集模型验证第43-57页
    4.1 模型和模拟结果的验证第43-48页
        4.1.1 模型的验证方案设计第43-44页
        4.1.2 模型和模拟结果正确性验证第44-48页
    4.2 SOI MOSFET 单粒子电荷收集特点和影响因素第48-55页
        4.2.1 LET 值和入射角度对 SOI MOSFET 收集电荷的影响第48-52页
        4.2.2 体区掺杂浓度对收集电荷的影响第52-54页
        4.2.3 温度对收集电荷的影响第54-55页
    4.3 小结第55-57页
第五章 总结与展望第57-59页
    5.1 论文总结第57-58页
    5.2 展望第58-59页
致谢第59-61页
参考文献第61-66页

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