| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-14页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.1.2 成像光谱椭偏仪的重要意义 | 第12-13页 |
| 1.1.3 深紫外波段对椭偏测量的意义 | 第13-14页 |
| 1.2 成像椭偏仪的发展历史及应用 | 第14-17页 |
| 1.2.1 成像椭偏仪的发展简史 | 第14-15页 |
| 1.2.2 成像椭偏仪的优点及应用范围 | 第15页 |
| 1.2.3 成像椭偏仪的发展现状及存在的问题 | 第15-17页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 第2章 成像椭偏仪的基本理论 | 第18-26页 |
| 2.1 椭圆偏振测量术原理 | 第18-21页 |
| 2.1.1 椭圆偏振光 | 第18页 |
| 2.1.2 椭圆偏振测量理论 | 第18-21页 |
| 2.2 成像椭偏仪测量理论 | 第21-25页 |
| 2.2.1 成像型偏振系统的实时成像观测调整 | 第21-22页 |
| 2.2.2 成像型偏振系统数据处理 | 第22-24页 |
| 2.2.3 本文深紫外成像椭圆偏振仪的实验方案 | 第24-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 椭偏仪中零级波片对系统影响 | 第26-36页 |
| 3.1 零级波片存在的问题 | 第26-35页 |
| 3.1.1 零级波片误差分析 | 第26-27页 |
| 3.1.2 偏差角度对椭偏仪测量的影响 | 第27-31页 |
| 3.1.3 测量双片波片补偿器的偏差角度值 | 第31-35页 |
| 3.2 解决零级波片偏差角度带来的误差 | 第35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 成像椭偏仪系统中的校准方法及分析 | 第36-51页 |
| 4.1 PSCA 成像椭偏仪系统校准 | 第36-41页 |
| 4.1.1 校准方法的背景 | 第36-37页 |
| 4.1.2 校准方法思想和优点及实施过程 | 第37-38页 |
| 4.1.3 包含相位补偿器的成像椭偏仪校准方法详细阐述 | 第38-41页 |
| 4.2 PCSCA 成像椭偏仪系统校准方法研究 | 第41-50页 |
| 4.2.1 PCSCA 校准方法的背景 | 第41-44页 |
| 4.2.2 借助穆勒椭偏仪对成像椭偏系统的方法详细阐述 | 第44-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 成像椭偏仪实验系统的校准 | 第51-62页 |
| 5.1 Dataray 相机线性评估 | 第51-54页 |
| 5.2 校准实验平台上的成像椭偏系统工作参数 | 第54-60页 |
| 5.2.1 成像椭偏仪系统主要组成部分 | 第54-55页 |
| 5.2.2 数据采集和校准成像椭偏仪系统 | 第55-60页 |
| 5.2.3 成像椭偏仪实验中系统校准存在的问题 | 第60页 |
| 5.3 本章小章 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |