声子晶体波导结构的制备及特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 声子晶体概述 | 第8-9页 |
| 1.1.1 布拉格散射型声子晶体 | 第8页 |
| 1.1.2 局域共振型声子晶体 | 第8-9页 |
| 1.2 声操控概述 | 第9-16页 |
| 1.2.1 基于声流的微操控 | 第10-13页 |
| 1.2.2 基于驻波声辐射力的微操控 | 第13-16页 |
| 1.3 基于声子晶体的声操控研究 | 第16-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 声子晶体条形声波导性能研究 | 第19-30页 |
| 2.1 引言 | 第19-23页 |
| 2.1.1 基于介质波导的全内反射机制 | 第19-20页 |
| 2.1.2 基于超材料波导的多重散射机制 | 第20-23页 |
| 2.2 声子晶体条形波导研究 | 第23-29页 |
| 2.2.1 声子晶体禁带研究 | 第23-25页 |
| 2.2.2 声子晶体透射谱研究 | 第25-27页 |
| 2.2.3 声子晶体条形波导实现 | 第27-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 基于声表面波微操控器件的制备及研究 | 第30-45页 |
| 3.1 引言 | 第30-31页 |
| 3.2 叉指换能器制备 | 第31-39页 |
| 3.2.1 光刻工艺的研究 | 第32-33页 |
| 3.2.2 声表面波器件叉指换能器制备流程 | 第33-35页 |
| 3.2.3 光刻结果与讨论 | 第35-37页 |
| 3.2.4 磁控溅射铝电极与剥离 | 第37-39页 |
| 3.2.5 声表面波器件的声学测试 | 第39页 |
| 3.3 PDMS 微腔道制备 | 第39-41页 |
| 3.4 基于声表面波器件的声操控实验 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于声子晶体板局域场的微操控 | 第45-54页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 声子晶体板的仿真计算 | 第45-50页 |
| 4.2.1 声子晶体板的结构和材料参数 | 第45-46页 |
| 4.2.2 声子晶体板透射谱与压力场分布研究 | 第46-48页 |
| 4.2.3 声子晶体板上微粒的受力研究 | 第48-50页 |
| 4.3 声子晶体板的制备 | 第50-51页 |
| 4.4 声操控实验 | 第51-53页 |
| 4.4.1 芯片式声操控系统设计 | 第51-52页 |
| 4.4.2 实验结果 | 第52-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
