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镁掺杂氧化锌薄膜的制备及光学特性分析

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
引言第9-10页
1 绪论第10-22页
    1.1 纳米材料概述第10-11页
    1.2 ZnO的研究及发展第11-19页
        1.2.1 ZnO材料的分类及制备第11-14页
        1.2.2 ZnO的基本性质第14-16页
        1.2.3 ZnO薄膜的应用第16-17页
        1.2.4 ZnO薄膜的发展第17-19页
    1.3 ZnMgO材料的发展方向、制备工艺和研究应用第19-20页
    1.4 选题依据及主要工作第20-22页
2 测试表征仪器简介第22-28页
    2.1 SEM第22-23页
    2.2 XRD第23-26页
    2.3 透射光谱第26页
    2.4 PL谱第26-28页
3 ZnO薄膜的制备及表征第28-41页
    3.1 超声喷雾热解法制备ZnO薄膜第28-36页
        3.1.1 实验方法及制备过程第28-30页
        3.1.2 影响参数第30-31页
        3.1.3 薄膜的生长机理和发光机理分析第31-36页
    3.2 实验结果的分析和讨论第36-40页
        3.2.1 表面形貌分析第36-37页
        3.2.2 结构特征分析第37-38页
        3.2.3 光学性质研究第38-40页
    3.3 本章小结第40-41页
4 ZnMgO薄膜的制备及表征第41-53页
    4.1 不同衬底温度的ZnMg_(0.1)O薄膜结构及光学性质的分析第41-46页
        4.1.1 表面形貌分析第41-43页
        4.1.2 结构特性的分析第43-44页
        4.1.3 光特性分析第44-46页
    4.2 不同浓度下下生长的Mg_xZn_(1-x)O薄膜表征及特性分析第46-52页
        4.2.1 表面形貌分析第46-48页
        4.2.2 结构特性的分析第48-49页
        4.2.3 光特性分析第49-52页
    4.3 本章小结第52-53页
5 总结第53-54页
参考文献第54-60页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第60-61页
致谢第61页

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