| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 传感器标定方法概述 | 第10-14页 |
| 1.1.1 传感器标定的研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.2 传感器标定方法分类 | 第11-12页 |
| 1.1.3 常用的加速度传感器标定方法 | 第12-14页 |
| 1.2 加速度传感器标定技术的国内外研究现状 | 第14页 |
| 1.3 本文主要研究内容及工作安排 | 第14-16页 |
| 第2章 MEMS电容式加速度传感器的理论基础 | 第16-33页 |
| 2.1 本章引言 | 第16页 |
| 2.2 电容式传感器基本原理 | 第16-21页 |
| 2.2.1 变间距式 | 第18-20页 |
| 2.2.2 变面积式 | 第20-21页 |
| 2.3 微驱动方式 | 第21-25页 |
| 2.3.1 静电驱动 | 第21-22页 |
| 2.3.2 电磁驱动 | 第22-23页 |
| 2.3.3 压电驱动 | 第23-24页 |
| 2.3.4 形状记忆合金驱动 | 第24-25页 |
| 2.3.5 热力驱动 | 第25页 |
| 2.4 加速度传感器数学模型 | 第25-27页 |
| 2.5 支撑梁弹性系数 | 第27-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 集成电磁驱动现场标定功能的MEMS加速度传感器 | 第33-45页 |
| 3.1 本章引言 | 第33页 |
| 3.2 电磁驱动的自标定原理和结构设计 | 第33-37页 |
| 3.3 传感器性能分析 | 第37-40页 |
| 3.3.1 模态分析 | 第37-38页 |
| 3.3.2 灵敏度分析 | 第38-39页 |
| 3.3.3 自标定特性分析 | 第39-40页 |
| 3.4 误差分析 | 第40-41页 |
| 3.4.1 工艺参数量化分析 | 第40页 |
| 3.4.2 DRIE倾斜效应分析 | 第40-41页 |
| 3.4.3 误差修正方法 | 第41页 |
| 3.5 加速度传感器制作工艺 | 第41-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 电容边缘效应对静电力标定MEMS加速度传感器的影响分析 | 第45-54页 |
| 4.1 本章引言 | 第45页 |
| 4.2 静电驱动的自标定原理 | 第45-47页 |
| 4.3 电容边缘效应对自标定的影响 | 第47-50页 |
| 4.3.1 电容边缘效应原理 | 第47-48页 |
| 4.3.2 电容边缘效应的修正 | 第48-49页 |
| 4.3.3 电容边缘效应对静电驱动的影响分析 | 第49-50页 |
| 4.4 结果分析 | 第50-53页 |
| 4.4.1 传感器模型 | 第50-51页 |
| 4.4.2 边缘效应补偿 | 第51-52页 |
| 4.4.3 静电力标定特性分析 | 第52-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 一种带自标定振动结构的电容式加速度传感器 | 第54-61页 |
| 5.1 本章引言 | 第54页 |
| 5.2 传感器结构设计 | 第54-59页 |
| 5.2.1 衬底结构 | 第55-56页 |
| 5.2.2 自标定振动结构 | 第56-57页 |
| 5.2.3 电容式加速度传感器 | 第57-59页 |
| 5.3 带自标定振动结构的MEMS电容式加速度传感器工作原理 | 第59-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 论文总结 | 第61-62页 |
| 6.2 论文的不足与展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68页 |
