| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRCT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 MEMS微机械系统 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS热式风速风向传感器 | 第11-12页 |
| 1.3 热式风速计控制与检测部分 | 第12-19页 |
| 1.3.1 加热电阻控制模式 | 第12-14页 |
| 1.3.2 MEMS热式风速计检测原理 | 第14-19页 |
| 1.4 国内外热式MEMS风速风向传感器温漂研究进展 | 第19-21页 |
| 1.5 本论文主要工作 | 第21页 |
| 1.6 论文内容纲要 | 第21-22页 |
| 第二章 热式风速风向传感器温漂特性及前期补偿工作 | 第22-30页 |
| 2.1 风速风向传感器一般结构 | 第22-23页 |
| 2.2 风速风向传感器温漂原因分析 | 第23-26页 |
| 2.3 MEMS热式风速计抑制温漂的前期方案 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 抑制温漂的恒温差控制电路设计 | 第30-38页 |
| 3.1 抑制温漂恒温差电路前期研究 | 第30-31页 |
| 3.2 恒温差电路主要实现方案 | 第31-32页 |
| 3.3 抑制温漂的恒温差电路理论设计 | 第32-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 抑制温漂的恒温差有源补偿电路仿真 | 第38-52页 |
| 4.1 风速计加热电阻的模型仿真 | 第38-45页 |
| 4.2 电路总体功能仿真 | 第45-50页 |
| 4.2.1 电路环境温度扫描仿真 | 第46-47页 |
| 4.2.2 电源波动对电路性能分析 | 第47-48页 |
| 4.2.3 电路贴片电阻温漂对电路性能的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.4 恒温差电路元器件容差分析 | 第49-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 热式风速传感器抑制温漂恒温差电路的测试与分析 | 第52-60页 |
| 5.1 恒温差电路参数和结构选型 | 第52-53页 |
| 5.2 恒温差电路测试平台 | 第53-54页 |
| 5.3 恒温差电路功能的检验 | 第54-56页 |
| 5.4 抑制温漂的恒温差电路性能测试 | 第56-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 工作总结 | 第60-61页 |
| 6.2 未来展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 作者简介 | 第66页 |