| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 纳米技术和扫描探针显微镜(SPM)的发展 | 第10-12页 |
| 1.2 SPM 技术中振动问题的研究现状 | 第12-18页 |
| 1.3 课题的研究意义和主要内容 | 第18-22页 |
| 第二章 纳米技术研究中的振动问题 | 第22-38页 |
| 2.1 基础振动理论 | 第23-25页 |
| 2.2 高级技术实验室对于振动要求的参考标准 | 第25-28页 |
| 2.3 SPM 结构与原理对环境振动的要求 | 第28-38页 |
| 第三章 振动影响 SPM 测量的理论分析 | 第38-74页 |
| 3.1 悬臂梁型 SPM 针尖-样品副模型 | 第39-63页 |
| 3.1.1 针尖-样品副几何模型 | 第40-51页 |
| 3.1.1.1 球形针尖-平面样品模型 | 第40-45页 |
| 3.1.1.2 准圆锥形针尖-平面样品模型 | 第45-48页 |
| 3.1.1.3 球形针尖-平面样品 JKR 模型 | 第48-51页 |
| 3.1.2 悬臂梁动态模型 | 第51-61页 |
| 3.1.2.1 矩形自由悬臂梁动态模型 | 第51-54页 |
| 3.1.2.2 三角形自由悬臂梁动态模型 | 第54-58页 |
| 3.1.2.3 大气中针尖接触样品时悬臂梁动态模型 | 第58-61页 |
| 3.1.3 悬臂梁型 SPM 低频模型 | 第61-63页 |
| 3.2 悬臂梁型 SPM 开环动态模型 | 第63-66页 |
| 3.3 悬臂梁型 SPM 闭环动态模型 | 第66-68页 |
| 3.4 外界振动对 SPM 扫描图像的影响 | 第68-74页 |
| 3.4.1 SPM 的成像机制 | 第69-70页 |
| 3.4.2 振动影响 SPM 成像的参数 | 第70-74页 |
| 第四章 振动对 SPM 测量的影响及补偿方案的研究 | 第74-106页 |
| 4.1 振动分析实验系统的构建 | 第75-77页 |
| 4.2 微型化激光干涉测振系统 | 第77-84页 |
| 4.2.1 振动传感器与测振系统综述 | 第77-78页 |
| 4.2.2 激光干涉测振系统简介 | 第78-81页 |
| 4.2.3 SP-S 微型化激光干涉测振系统 | 第81-84页 |
| 4.3 振动对 SPM 测量影响的实验 | 第84-102页 |
| 4.3.1 SPM 镜体和针尖-样品副的频率响应 | 第86-88页 |
| 4.3.2 同一频率、不同激振振幅对 SPM 抑振系数的影响 | 第88-90页 |
| 4.3.3 不同 SPM 结构(扫描器)对抑振系数的影响 | 第90-92页 |
| 4.3.4 不同样品对 SPM 抑振系数的影响 | 第92-94页 |
| 4.3.5 不同探针对 SPM 抑振系数的影响 | 第94-95页 |
| 4.3.6 不同预应力对 SPM 抑振系数的影响 | 第95-97页 |
| 4.3.7 Z 向针尖-样品副开/闭环对 SPM 抑振系数的影响 | 第97-98页 |
| 4.3.8 外界振动与 SPM 扫描运动的频率匹配实验 | 第98-101页 |
| 4.3.9 同一频率下不同采样点个数影响 SPM 图像的实验 | 第101-102页 |
| 4.4 对外界振动进行补偿的方案探讨 | 第102-106页 |
| 4.4.1 修正 SPM 扫描图像的补偿方案 | 第103-105页 |
| 4.4.2 悬臂梁主动振动控制的补偿方案 | 第105-106页 |
| 第五章 基于 STM 原理的纳米级振动测量的研究 | 第106-126页 |
| 5.1 微振动测量的研究现状 | 第106-108页 |
| 5.2 基于 STM 的纳米级测振机理 | 第108-116页 |
| 5.3 利用 STM 原理进行微振动测量方法的研究 | 第116-126页 |
| 5.3.1 STM 测振系统的整体设计 | 第116-118页 |
| 5.3.2 STM 测振系统的机械结构 | 第118-121页 |
| 5.3.3 STM 测振系统的测控电路 | 第121-125页 |
| 5.3.4 STM 测振系统的初步实验 | 第125-126页 |
| 第六章 结论与展望 | 第126-130页 |
| 参考文献 | 第130-140页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第140-142页 |
| 图表目录 | 第142-146页 |
| 缩略语 | 第146-148页 |
| 致谢 | 第148页 |
