| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| 1.1 课题的来源及研究的背景和意义 | 第7页 |
| 1.2 国外研究现状 | 第7-9页 |
| 1.3 国内研究现状 | 第9-10页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第10-11页 |
| 第2章 六自由度光学测量传感器的原理及总体方案 | 第11-27页 |
| 2.1 引言 | 第11页 |
| 2.2 六自由度光学测量传感器原理 | 第11-26页 |
| 2.2.1 六自由度光学测量传感器工作原理 | 第12页 |
| 2.2.2 PSD检测光斑的数学模型 | 第12-18页 |
| 2.2.3 位移变化量的误差模型 | 第18-26页 |
| 2.3 六自由度光学测量传感器的总体方案设计 | 第26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 六自由度光学测量传感器光学设计及仿真 | 第27-40页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 光学系统设计 | 第27-29页 |
| 3.3 ZEMAX光学参数仿真 | 第29-34页 |
| 3.4 ZEMAX光学系统误差仿真 | 第34-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 六自由度光学测量传感器系统软硬件设计 | 第40-54页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 PSD光电信号转换电路 | 第40-43页 |
| 4.3 AD信号采集模块 | 第43-47页 |
| 4.3.1 AD信号采集模块的硬件电路设计 | 第43-46页 |
| 4.3.2 基于FPGA下的AD信号采集模块的Verilog编写 | 第46-47页 |
| 4.4 基于FPGA下的数字信号预处理 | 第47-48页 |
| 4.5 串口通信模块 | 第48-51页 |
| 4.5.1 基于FPGA下的串口通信模块 | 第49-50页 |
| 4.5.2 基于Labview下的串口通信模块 | 第50-51页 |
| 4.6 基于LABVIEW下的上位机显示模块 | 第51-53页 |
| 4.7 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 实验结果分析 | 第54-68页 |
| 5.1 SIXDOF实验系统搭建 | 第54页 |
| 5.2 综合实验与分析 | 第54-67页 |
| 5.2.1 系统的标定实验 | 第54-62页 |
| 5.2.2 数据处理 | 第62-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73页 |