| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 SnO_2薄膜的性质 | 第7-8页 |
| 1.2.1 SnO_2结构性质 | 第7-8页 |
| 1.2.2 SnO_2薄膜的光学性质 | 第8页 |
| 1.2.3 SnO_2薄膜的电学性质 | 第8页 |
| 1.3 SnO_2薄膜的主要应用 | 第8-9页 |
| 1.4 SnO_2薄膜的制备方法 | 第9-11页 |
| 1.4.1 溶胶-凝胶法（Sol-gel） | 第9-10页 |
| 1.4.2 喷雾热分解法（Spray Pyrolysis） | 第10页 |
| 1.4.3 真空蒸镀法（Vacuum Evaporation） | 第10页 |
| 1.4.4 化学气相沉积法（CVD） | 第10页 |
| 1.4.5 脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition） | 第10页 |
| 1.4.6 物理气相沉积法（PVD） | 第10-11页 |
| 1.5 SnO_2薄膜的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.6 选题动机 | 第12页 |
| 1.7 全文结构 | 第12-14页 |
| 第二章 SnO_2薄膜的制备和表征 | 第14-19页 |
| 2.1 实验仪器及实验试剂 | 第14页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第14页 |
| 2.1.2 试剂预处理 | 第14页 |
| 2.1.3 实验仪器 | 第14页 |
| 2.2 常用表征方法 | 第14-16页 |
| 2.3 衬底的清洗 | 第16页 |
| 2.4 旋涂法（Spinning）制备薄膜的基本过程 | 第16-17页 |
| 2.5 SnO_2:Sb薄膜的制备 | 第17页 |
| 2.6 SnO_2:Mg薄膜的制备 | 第17-18页 |
| 2.7 本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 Sb掺杂对SnO_2薄膜光电性质影响的研究 | 第19-24页 |
| 3.1 SnO_2:Sb薄膜的组成和结构分析 | 第19-21页 |
| 3.1.1 Sb掺杂浓度对薄膜晶体结构的影响 | 第19-20页 |
| 3.1.2 Sb掺杂对SnO_2薄膜形貌的影响 | 第20页 |
| 3.1.3 Sb掺杂对SnO_2薄膜组成成分的影响 | 第20-21页 |
| 3.2 Sb掺杂对SnO_2薄膜光学性质的影响 | 第21-23页 |
| 3.2.1 Sb掺杂对SnO_2薄膜光学带隙的影响 | 第21-22页 |
| 3.2.2 SnO_2:Sb薄膜光致发光性质的研究 | 第22-23页 |
| 3.3 Sb掺杂对SnO_2薄膜电学性质的影响 | 第23页 |
| 3.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第四章 Mg掺杂对SnO_2薄膜光学性质影响的研究 | 第24-29页 |
| 4.1 SnO_2:Mg薄膜的结构和形貌分析 | 第24-25页 |
| 4.1.1 SnO_2:Mg薄膜的结构分析 | 第24-25页 |
| 4.1.2 SnO_2:Mg薄膜的形貌分析 | 第25页 |
| 4.2 SnO_2:Mg薄膜的光学性能分析 | 第25-26页 |
| 4.2.1 Mg掺杂对SnO_2薄膜的光学带隙的影响 | 第25-26页 |
| 4.2.2 SnO_2:Mg薄膜光致发光性质的研究 | 第26页 |
| 4.3 SnO_2:Mg薄膜的电学性能分析 | 第26-27页 |
| 4.4 SnO_2:Mg薄膜的发光机制的研究 | 第27-28页 |
| 4.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第五章 全文总结 | 第29-30页 |
| 致谢 | 第30-31页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
