| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第15-30页 |
| 1.1 引言 | 第15-17页 |
| 1.2 传感器简介 | 第17-21页 |
| 1.2.1 传感器定义 | 第17-18页 |
| 1.2.2 传感器组成及分类 | 第18-19页 |
| 1.2.3 传感器的发展方向 | 第19-21页 |
| 1.3 湿敏传感器 | 第21-23页 |
| 1.3.1 湿度 | 第21-23页 |
| 1.3.2 湿度传感器的分类 | 第23页 |
| 1.4 Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体湿敏材料 | 第23-26页 |
| 1.4.1 氧化锌 | 第23-25页 |
| 1.4.2 硫化镉 | 第25-26页 |
| 1.5 氯化锂湿敏材料 | 第26-27页 |
| 1.6 硅纳米孔柱阵列的特征及形貌 | 第27-28页 |
| 1.7 选题思路 | 第28-29页 |
| 1.8 本论文工作的主要研究内容 | 第29-30页 |
| 第二章 实验方法 | 第30-42页 |
| 2.1 Si-NPA制作方法 | 第30-31页 |
| 2.1.1 硅片清洗 | 第30页 |
| 2.1.2 Si-NPA的制作 | 第30-31页 |
| 2.2 ZnO的CVD制作方法 | 第31页 |
| 2.3 CdS制作方法 | 第31-32页 |
| 2.4 电极制作 | 第32页 |
| 2.5 表征方法 | 第32-33页 |
| 2.6 相对湿度环境的实现 | 第33-35页 |
| 2.6.1 饱和盐溶液的相对湿度产生机理 | 第33-34页 |
| 2.6.2 配制饱和盐溶液要点 | 第34-35页 |
| 2.7 湿敏测试指标及评价 | 第35-42页 |
| 2.7.1 湿度量程 | 第35-36页 |
| 2.7.2 灵敏度与电容响应度 | 第36-37页 |
| 2.7.3 感湿特性曲线 | 第37页 |
| 2.7.4 响应恢复时间 | 第37-39页 |
| 2.7.5 湿滞 | 第39-41页 |
| 2.7.6 重复性 | 第41页 |
| 2.7.7 稳定性 | 第41-42页 |
| 第三章 CdS/ZnO/Si-NPA湿敏性能研究 | 第42-56页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 CdS/ZnO/Si-NPA的制备、表面形貌和结构表征 | 第42-47页 |
| 3.2.1 结构设想与实现 | 第43-44页 |
| 3.2.2 材料选择 | 第44-45页 |
| 3.2.3 CdS/ZnO/Si-NPA的制备表面形貌和结构表征 | 第45-47页 |
| 3.3 CdS/ZnO/Si-NPA的湿敏性能 | 第47-52页 |
| 3.3.1 不同湿度下电容与频率的关系 | 第47-48页 |
| 3.3.2 电容响应度与频率的关系 | 第48-49页 |
| 3.3.3 感湿特性曲线 | 第49-50页 |
| 3.3.4 响应恢复时间 | 第50-51页 |
| 3.3.5 湿滞 | 第51-52页 |
| 3.4 CdS/ZnO/Si-NPA的湿敏机理分析 | 第52-54页 |
| 3.5 小结 | 第54-56页 |
| 第四章 CdS/Si-NPA湿敏性能及LiCl的复合改性研究 | 第56-75页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 CdS/Si-NPA的制备与表征 | 第56-58页 |
| 4.2.1 CdS/Si-NPA的制备 | 第56页 |
| 4.2.2 CdS/Si-NPA的形貌与晶相表征 | 第56-58页 |
| 4.3 CdS/Si-NPA的湿敏性能 | 第58-62页 |
| 4.3.1 不同湿度下电容与频率的关系 | 第58-59页 |
| 4.3.2 电容响应度与频率的关系 | 第59-60页 |
| 4.3.3 感湿特性 | 第60-61页 |
| 4.3.4 响应恢复特性 | 第61-62页 |
| 4.4 CdS/Si-NPA的湿敏机理分析 | 第62-63页 |
| 4.5 LiCl的复合 | 第63-65页 |
| 4.6 LiCl: CdS/Si-NPA的制备、表面形貌和结构表征 | 第65页 |
| 4.6.1 LiCl:CdS/Si-NPA制备 | 第65页 |
| 4.6.2 LiCl:CdS/Si-NPA形貌与晶相表征 | 第65页 |
| 4.7 LiCl:CdS/Si-NPA与CdS/Si-NPA湿敏性能的比较 | 第65-71页 |
| 4.7.1 电容、响应以及两传感器的比较 | 第66-67页 |
| 4.7.2 线性度以及二者的比较 | 第67页 |
| 4.7.3 响应速度及其二者的比较 | 第67-69页 |
| 4.7.4 LiCl:CdS/Si-NPA的湿滞 | 第69-70页 |
| 4.7.5 LiCl:CdS/Si-NPA的重复性能 | 第70-71页 |
| 4.7.6 LiCl:CdS/Si-NPA的稳定性能 | 第71页 |
| 4.8 LiCl对CdS/Si-NPA湿敏性能提升的机理分析 | 第71-73页 |
| 4.9 小结 | 第73-75页 |
| 第五章 ZnO/Si-NPA湿敏性能及LiCl的复合改性研究 | 第75-98页 |
| 5.1 引言 | 第75页 |
| 5.2 ZnO/Si-NPA湿敏传感器 | 第75-84页 |
| 5.2.1 ZnO/Si-N PA湿敏传感器制作 | 第75页 |
| 5.2.2 ZnO/Si-NPA的晶相、形貌以及EDS表征 | 第75-78页 |
| 5.2.3 ZnO/Si-NPA的湿敏性能 | 第78-83页 |
| 5.2.4 ZnO/Si-NPA的湿敏性能分析 | 第83-84页 |
| 5.3 LiCl:ZnO/Si-NPA的湿敏性能以及与ZnO/Si-NPA之对比 | 第84-96页 |
| 5.3.1 LiCl:ZnO/Si-NPA湿敏传感器的制作 | 第84页 |
| 5.3.2 LiCl:ZnO/Si-NPA晶相和形貌表征 | 第84-85页 |
| 5.3.3 LiCl:ZnO/Si-NPA的EDS表征 | 第85-86页 |
| 5.3.4 LiCl:ZnO/Si-NPA的湿敏性能以及与ZnO/Si-NPA的对比 | 第86-93页 |
| 5.3.5 LiCl:ZnO/Si-NPA性能以及传感机理分析 | 第93-96页 |
| 5.4 小结 | 第96-98页 |
| 第六章 结论与展望 | 第98-103页 |
| 参考文献 | 第103-109页 |
| 博士期间完成的论文情况 | 第109-110页 |
| 致谢 | 第110页 |
