| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 SOI脊形波导简介 | 第9-10页 |
| 1.2.1 SOI简介 | 第9-10页 |
| 1.2.2 浅刻蚀与深刻蚀SOI脊形波导 | 第10页 |
| 1.3 浅刻蚀SOI脊形波导及波导耦合器 | 第10-11页 |
| 1.3.1 浅刻蚀SOI脊形波导的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3.2 波导耦合器的简要介绍 | 第11页 |
| 1.4 论文主要内容及成果 | 第11-12页 |
| 第二章 脊形波导理论与方法 | 第12-18页 |
| 2.1 有效折射率法 | 第12-15页 |
| 2.1.1 有效折射率法求解脊形波导的有效折射率 | 第12-14页 |
| 2.1.2 远截止近似法求平板波导有效折射率 | 第14-15页 |
| 2.2 模式匹配法 | 第15页 |
| 2.3 定向耦合器耦合模理论 | 第15-17页 |
| 2.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 弧形截面对浅刻蚀SOI脊形波导侧向泄漏损耗的影响 | 第18-32页 |
| 3.1 弧形截面浅刻蚀SOI脊形波导 | 第18-19页 |
| 3.2 SOI脊形波导的模式杂化、转化与侧向泄漏 | 第19-22页 |
| 3.2.1 SOI脊形波导的模式杂化 | 第19页 |
| 3.2.2 SOI脊形波导的模式转化 | 第19-21页 |
| 3.2.3 浅刻蚀弧形SOI脊形波导侧向泄漏研究 | 第21-22页 |
| 3.3 弧形SOI脊形波导的仿真与分析 | 第22-30页 |
| 3.3.1 弧形SOI脊形波导的模式分析与泄漏损耗 | 第23-26页 |
| 3.3.2 弧形截面与普通矩形截面脊形波导的对比 | 第26-29页 |
| 3.3.3 沟槽刻蚀深度对弧形截面脊形波导TM_0损耗的影响 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 第四章 基于弧形SOI脊形波导理论的定向耦合器的设计 | 第32-40页 |
| 4.1 弧形SOI脊形直波导的三维仿真 | 第32-34页 |
| 4.2 TE0模的定向耦合器 | 第34-35页 |
| 4.3 低损耗TM_0模定向耦合器的设计 | 第35-39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 结论与展望 | 第40-42页 |
| 5.1 结论 | 第40-41页 |
| 5.2 展望 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第47页 |
