| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 工业领域对高温压力传感器的应用及需求 | 第9页 |
| 1.2 现有高温压力传感器技术 | 第9-13页 |
| 1.2.1 硅压阻式高温压力传感器 | 第9-11页 |
| 1.2.2 薄膜型压力传感器 | 第11页 |
| 1.2.3 陶瓷厚膜高温压力传感器 | 第11-12页 |
| 1.2.4 光纤高温压力传感器 | 第12页 |
| 1.2.5 声表面波（SAW）高温压力传感器 | 第12-13页 |
| 1.3 声表面波（SAW）高温压力传感器研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.1 声表面波传感器技术概述 | 第13-15页 |
| 1.3.2 高温SAW传感器压力灵敏度计算理论现状 | 第15页 |
| 1.3.3 高温SAW传感器材料 | 第15-17页 |
| 1.3.4 高温SAW传感器封装结构现状 | 第17页 |
| 1.4 LGS SAW高温压力传感器尚待解决的问题和本研究的工作 | 第17-18页 |
| 第2章 LGS基片压力灵敏度理论计算 | 第18-38页 |
| 2.1 压电微扰理论介绍及应用 | 第18-23页 |
| 2.1.1 压电效应及其本构方程 | 第18-19页 |
| 2.1.2 压电体内的波动方程 | 第19-20页 |
| 2.1.3 压电介质中的Christofel方程 | 第20页 |
| 2.1.4 压电介质在偏载条件下的电弹波动方程 | 第20-21页 |
| 2.1.5 电弹扰动方程 | 第21-23页 |
| 2.2 有限元模型 | 第23-33页 |
| 2.2.1 几何模型建立 | 第24-26页 |
| 2.2.2 有限元模型材料设置 | 第26-28页 |
| 2.2.3 有限元模型物理场设置 | 第28-29页 |
| 2.2.4 初始条件以及边界条件设置 | 第29-32页 |
| 2.2.5 有限元模型网格划分 | 第32-33页 |
| 2.2.6 有限元模型应力应变场求解 | 第33页 |
| 2.3 压力灵敏度模型及切向优化结论 | 第33-38页 |
| 第3章 基于LGS的SAW高温压力传感器制作 | 第38-43页 |
| 3.1 传感器金属上盖设计 | 第38-39页 |
| 3.2 传感器金属底座 | 第39页 |
| 3.3 LGS压电基片设计 | 第39-42页 |
| 3.3.1 压力敏感基片设计 | 第39-40页 |
| 3.3.2 SAW谐振器设计 | 第40页 |
| 3.3.3 金属电极膜厚的选择 | 第40-41页 |
| 3.3.4 谐振器在基片上的位置 | 第41-42页 |
| 3.4 基于LGS的SAW高温传感器封装及引线 | 第42-43页 |
| 第4章 实验验证 | 第43-51页 |
| 4.1 实验环境搭建 | 第43-44页 |
| 4.2 实验结果及分析 | 第44-51页 |
| 4.2.1 SAW谐振器常温静态特性测试与分析 | 第44-45页 |
| 4.2.2 常温压力敏感特性测试 | 第45-46页 |
| 4.2.3 传感器工作温度范围测试与分析 | 第46-47页 |
| 4.2.4 传感器灵敏度测试与分析 | 第47-48页 |
| 4.2.5 传感器稳定性测试与分析 | 第48页 |
| 4.2.6 传感器迟滞性测试与分析 | 第48-49页 |
| 4.2.7 传感器重复性测试与分析 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |