| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-26页 |
| 1.1 研究背景概述 | 第8-10页 |
| 1.2 能量收集微能源技术 | 第10-13页 |
| 1.2.1 太阳能 | 第10-11页 |
| 1.2.2 热能（温差） | 第11-12页 |
| 1.2.3 射频辐射能 | 第12页 |
| 1.2.4 机械振动能 | 第12-13页 |
| 1.3 基于振动机械能的能量收集 | 第13-18页 |
| 1.3.1 环境的振动源特征 | 第13-14页 |
| 1.3.2 静电式振动能量收集器 | 第14-15页 |
| 1.3.3 电磁式振动能量收集器 | 第15-17页 |
| 1.3.4 磁致伸缩式振动能量收集器 | 第17-18页 |
| 1.3.5 压电式振动能量收集器 | 第18页 |
| 1.4 压电式能量收集器的研究进展 | 第18-24页 |
| 1.5 本论文的研究意义和主要内容 | 第24-26页 |
| 第2章 微压电能量收集器的理论模型以及结构 | 第26-36页 |
| 2.1 压电材料 | 第26-28页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第26页 |
| 2.1.2 压电材料 | 第26-28页 |
| 2.2 压电能量收集器的两种结构 | 第28-30页 |
| 2.2.1 涡激振动能量收集器以及物理模型 | 第28页 |
| 2.2.2 振动能量收集器 | 第28-29页 |
| 2.2.3 压电振动能量收集器的耦合模型 | 第29-30页 |
| 2.2.4 涡激振动能量采集器耦合模型 | 第30页 |
| 2.3 能量收集器结构的设计 | 第30-34页 |
| 2.3.1 涡激振动能量收集器 | 第31-33页 |
| 2.3.2 铜基振动能量收集器 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 器件的制备 | 第36-48页 |
| 3.1 压电层的减薄 | 第36-42页 |
| 3.1.1 键合工艺过程 | 第36-37页 |
| 3.1.2 减薄 | 第37-42页 |
| 3.2 表面图形化以及背部刻蚀 | 第42页 |
| 3.3 器件的组装 | 第42-45页 |
| 3.3.1 涡激振动能量收集器的组装 | 第42-44页 |
| 3.3.2 铜基振动能量收集器工艺流程及组装 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-48页 |
| 第4章 实验测试与应用研究 | 第48-62页 |
| 4.1 涡激振动能量收集器测试系统及性能输出 | 第48-50页 |
| 4.2 铜基振动能量收集器测试系统及性能输出 | 第50-55页 |
| 4.2.1 铜基振动能量收集器谐振频率与开路电压测试 | 第50-53页 |
| 4.2.2 闭环输出电压、功率 | 第53-55页 |
| 4.3 铜基振动能量收集器在振动环境中的应用 | 第55-57页 |
| 4.4 电容充电性能 | 第57-58页 |
| 4.5 水下能量采集测试系统改进 | 第58-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 总结 | 第62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第72页 |
| 1. 攻读硕士期间参加科研项目情况 | 第72页 |
| 2. 发表论文 | 第72页 |
| 3. 获取专利 | 第72页 |