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提高微电铸层与金属基底界面结合性能的机理与方法

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
主要符号表第21-22页
1 绪论第22-49页
    1.1 课题的研究背景及意义第22-27页
    1.2 电沉积层与金属基底界面结合性能的研究现状第27-47页
        1.2.1 界面结合性能的测量方法第27-37页
        1.2.2 电沉积层与金属基底界面结合性能的相关因素第37-41页
        1.2.3 提高电沉积层与金属基底界面结合性能方法的研究现状第41-45页
        1.2.4 电沉积层与金属基底界面结合性能研究现状总结第45-47页
    1.3 本文的研究内容第47-49页
2 晶粒尺寸与界面结合能关系的理论模型第49-68页
    2.1 引言第49-50页
    2.2 晶粒尺寸与界面结合能关系的理论模型的建立第50-54页
        2.2.1 模型的建立第50-53页
        2.2.2 模型数值分析第53-54页
    2.3 模型的实验验证第54-67页
        2.3.1 不同晶粒尺寸的电铸层制作实验第54-56页
        2.3.2 电铸层晶粒尺寸的测量第56-59页
        2.3.3 界面结合性能的表征第59-64页
        2.3.4 结果分析与讨论第64-67页
    2.4 本章小结第67-68页
3 电流密度对界面结合能的影响研究第68-85页
    3.1 引言第68页
    3.2 不同电流密度的电铸实验研究第68-78页
        3.2.1 不同电流密度下的电铸层制作第68-69页
        3.2.2 电铸层内应力与晶粒尺寸的测量实验第69-73页
        3.2.3 电铸层与基底真实接触表面积的测量实验第73-78页
    3.3 结果分析与讨论第78-84页
        3.3.1 晶粒尺寸与界面结合能的关系第78-81页
        3.3.2 铸层真实接触表面积与界面结合能的关系第81-84页
    3.4 本章小结第84-85页
4 超声电铸法提高界面结合能的研究第85-120页
    4.1 引言第85页
    4.2 超声场对电铸电极反应过程的影响第85-90页
        4.2.1 超声场在电沉积反应过程中的影响第85-88页
        4.2.2 阴极极化曲线的测量方法第88-89页
        4.2.3 交流阻抗谱的测量方法第89-90页
        4.2.4 电铸系统电流效率的测量方法第90页
    4.3 超声与未超声条件下电铸实验第90-102页
        4.3.1 电化学测量实验第90-92页
        4.3.2 超声电铸实验第92页
        4.3.3 电铸层性能测量实验第92-96页
        4.3.4 电铸系统电流效率测量实验第96页
        4.3.5 界面结合能表征实验第96-97页
        4.3.6 结果分析与讨论第97-102页
    4.4 超声功率与频率对界面结合能的影响第102-103页
        4.4.1 超声功率与频率对电铸电极反应过程的影响第102-103页
        4.4.2 超声电铸实验第103页
        4.4.3 电铸层性能表征实验第103页
    4.5 结果分析与讨论第103-119页
        4.5.1 超声功率对界面结合能的影响第103-111页
        4.5.2 超声频率对界面结合能的影响第111-119页
    4.6 本章小结第119-120页
5 化学腐蚀法提高界面结合能的研究第120-133页
    5.1 引言第120-121页
    5.2 基底表面化学腐蚀实验研究第121-132页
        5.2.1 酸性腐蚀液配比对界面结合能的影响实验第121-124页
        5.2.2 实验结果与分析第124-128页
        5.2.3 腐蚀时间对界面结合能的影响实验第128页
        5.2.4 实验结果与分析第128-132页
    5.3 本章小结第132-133页
6 超声复合电铸提高金属微结构界面结合性能的方法第133-147页
    6.1 引言第133页
    6.2 超声复合电铸提高界面结合能的方法第133-135页
    6.3 超声复合电铸法制备微柱阵列结构第135-146页
        6.3.1 实验步骤第136-139页
        6.3.2 微柱阵列结构界面结合性能的表征第139-141页
        6.3.3 利用AZ正胶制备微柱阵列结构第141-146页
    6.4 本章小结第146-147页
7 结论与展望第147-150页
    7.1 结论第147-148页
    7.2 创新点第148-149页
    7.3 展望第149-150页
参考文献第150-158页
攻读博士学位期间科研项目及科研成果第158-159页
致谢第159-160页
作者简介第160页

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