基于电容传感器的薄膜厚度测量系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·薄膜厚度测量的应用背景 | 第7页 |
| ·薄膜测量方法概述 | 第7-10页 |
| ·电容测厚系统研究的国内外现状 | 第10页 |
| ·本课题的研究目的和主要研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 薄膜测厚系统工作原理 | 第12-26页 |
| ·电容传感器工作原理及其类型 | 第12-17页 |
| ·电容传感器工作原理 | 第12页 |
| ·电容传感器类型 | 第12-17页 |
| ·电容信号检测电路的方案选择 | 第17-24页 |
| ·调频电路 | 第18-19页 |
| ·运算放大器电路 | 第19页 |
| ·二极管双T 形交流电桥 | 第19-21页 |
| ·脉冲宽度调制电路 | 第21-22页 |
| ·电容容抗测量电路 | 第22-24页 |
| ·薄膜测厚系统总体设计 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 电容传感器探头的研究 | 第26-34页 |
| ·电容传感器探头的检测原理 | 第26-28页 |
| ·电场边缘效应的影响及保护环技术 | 第28-31页 |
| ·电场的边缘效应 | 第28-30页 |
| ·保护环技术 | 第30-31页 |
| ·驱动电缆技术 | 第31页 |
| ·电容传感器探头的设计与制作 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 薄膜测厚系统硬件设计及软件实现 | 第34-48页 |
| ·系统硬件电路设计 | 第34-43页 |
| ·精密信号源电路设计 | 第34-37页 |
| ·有效值转换电路设计 | 第37-39页 |
| ·A/D 转换模块设计 | 第39-41页 |
| ·主控模块设计 | 第41页 |
| ·显示模块设计 | 第41-42页 |
| ·测温模块设计 | 第42-43页 |
| ·系统软件设计 | 第43-46页 |
| ·软件总体设计 | 第43-44页 |
| ·主程序设计 | 第44页 |
| ·中断程序设计 | 第44-46页 |
| ·系统抗干扰设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 薄膜测厚系统标定及误差分析 | 第48-55页 |
| ·测量系统的标定及温度漂移的校正 | 第48-51页 |
| ·测量系统的标定 | 第48-50页 |
| ·薄膜测厚系统的测量精度 | 第50页 |
| ·系统重复性测试 | 第50-51页 |
| ·温度漂移特性的测量及补偿 | 第51页 |
| ·测量结果及误差 | 第51-52页 |
| ·影响系统误差的因素 | 第52-54页 |
| ·传感器探头安装倾斜引起的测量误差 | 第52-53页 |
| ·驱动电缆屏蔽问题引起的测量误差 | 第53页 |
| ·温度漂移引起的测量误差 | 第53-54页 |
| ·标定薄膜引起的误差 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 作者在攻读硕士期间的主要研究成果 | 第63页 |
