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非球面光学元件超精密磨削加工精度分析与误差补偿技术研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-16页
   ·课题背景第8页
   ·课题研究的目的和意义第8-9页
   ·国内外光学加工技术与设备的现状第9-13页
   ·非球面加工与检测误差补偿技术现状第13-15页
   ·本文研究内容第15-16页
第二章 非球面接触式测量方法第16-22页
   ·引言第16页
   ·轮廓仪测量原理与方法第16-18页
   ·轮廓仪性能指标与工作环境第18-20页
   ·接触式测杆型号第20-21页
   ·本章小结第21-22页
第三章 非球面动态检测数据特征分析第22-30页
   ·引言第22页
   ·非球面动态测量数据组成第22-24页
   ·非平稳均值过程的测量数据平稳化第24-25页
   ·非球面测量数据预处理方法第25-27页
   ·动态测量系统的测量误差分析第27-28页
   ·非球面测量误差的评定指标第28-29页
   ·本章小结第29-30页
第四章 非球面磨削加工对刀误差分析第30-46页
   ·引言第30页
   ·Opto Tech ASM100 CNC加工系统第30-32页
   ·最佳比较球面半径的确定第32-34页
   ·砂轮X轴向对刀误差分析第34-40页
   ·砂轮Y轴向对刀误差分析第40-45页
   ·本章小结第45-46页
第五章 基于无基准子午测量线的非球面面形误差分析第46-58页
   ·引言第46页
   ·非球面子午测量线的采集数据回归模型分析第46-52页
   ·测头的半径大小对测量值的影响第52-54页
   ·基于椭圆拟合的测量数据倾斜误差分离与面形误差评定第54-56页
   ·基于干涉检验的非球面三维面形误差评定第56-57页
   ·本章小结第57-58页
总结与展望第58-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-64页
附录A 攻读硕士学位期间发表学术论文情况第64-65页
附录B Matlab编写的程序代码第65页

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