Fe与Cu掺杂ZnO薄膜的溶胶凝胶旋涂法制备工艺及性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·薄膜的制备 | 第9-11页 |
| ·分子束外延法(MBE) | 第9页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第9-10页 |
| ·磁控溅射法 | 第10页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第10页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第10-11页 |
| ·氧化锌基本性质和结构 | 第11-14页 |
| ·氧化锌的基本性质 | 第11页 |
| ·氧化锌的晶体结构 | 第11-12页 |
| ·ZnO的发光机制 | 第12-14页 |
| ·氧化锌材料的应用 | 第14页 |
| ·本课题的立题依据及主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法成膜原理与分析 | 第16-21页 |
| ·溶胶-凝胶法概述 | 第16-17页 |
| ·溶胶-凝胶法的发展历程 | 第16页 |
| ·溶胶-凝胶法的技术特点 | 第16-17页 |
| ·溶胶-凝胶法的工艺流程 | 第17页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的方法 | 第17-18页 |
| ·溶胶-凝胶法的影响因素 | 第18页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第18-21页 |
| ·X-射线衍射分析(XRD) | 第18-19页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第19页 |
| ·紫外-可见光谱分析(UV-Vis) | 第19-20页 |
| ·荧光光谱分析(PL) | 第20-21页 |
| 第三章 C轴择优取向的ZnO薄膜的制备和性能分析 | 第21-34页 |
| ·引言 | 第21-22页 |
| ·实验药品和仪器设备 | 第22-23页 |
| ·样品的制备 | 第23-27页 |
| ·采用三种不同溶剂配制溶胶 | 第23-25页 |
| ·热处理及烧结温度的确定 | 第25-26页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第26-27页 |
| ·样品的表征与分析 | 第27-33页 |
| ·X-射线衍射分析(XRD) | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第29-30页 |
| ·紫外-可见光谱分析(UV-Vis) | 第30-31页 |
| ·荧光光谱分析(PL) | 第31页 |
| ·ZnO薄膜的成膜的机理研究 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 Fe掺杂ZnO薄膜的制备与性能分析 | 第34-41页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·Fe掺杂ZnO薄膜的制备 | 第34-35页 |
| ·样品的表征与分析 | 第35-40页 |
| ·X-射线衍射分析(XRD) | 第35-36页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第36-37页 |
| ·紫外-可见光谱分析(UV-Vis) | 第37-39页 |
| ·荧光光谱分析(PL) | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 Cu掺杂ZnO薄膜的制备与性能分析 | 第41-48页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·Cu掺杂ZnO薄膜的制备 | 第41-42页 |
| ·样品的表征与分析 | 第42-47页 |
| ·X-射线衍射分析(XRD) | 第43-44页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第44-45页 |
| ·紫外-可见光谱分析(UV-Vis) | 第45-46页 |
| ·荧光光谱分析(PL) | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 结论与展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
