MOCVD技术制备的BZO薄膜及其在太阳电池中的应用

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-13页
·引言	第8页
·ZnO概述	第8-10页
·ZnO-TCO的研究现状及其制备技术	第10-12页
·论文的主要内容和结构安排	第12-13页
2 实验方法和分析测试技术	第13-19页
·MOCVD设备系统组成及原理	第13-14页
·实验设备及反应原理	第14-16页
·ZnO薄膜的表征	第16-19页
3 MOCVD沉积ZnO-TCO薄膜	第19-36页
·引言	第19页
·衬底温度对ZnO薄膜特性的影响	第19-24页
·反应压力对ZnO薄膜特性的影响	第24-28页
·物质配比对ZnO薄膜特性的影响	第28-32页
·厚度对ZnO薄膜特性的影响	第32-36页
4 BZO的制备及其在电池中的应用	第36-51页
·背极BZO的制备及其特性分析	第36-43页
·前极BZO的制备及其特性分析	第43-47页
·BZO在Si薄膜太阳电池中的应用	第47-51页
5 总结	第51-53页
致谢	第53-54页
参考文献	第54-58页
附录1 攻读硕士学位期间发表的论文	第58-59页
附录2 攻读硕士学位期间申请的专利	第59页