| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究概况 | 第10-13页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 LTCC 高温压力传感器的设计 | 第15-29页 |
| ·传感模块电磁理论分析 | 第15-18页 |
| ·传感器 LC 电磁理论分析 | 第15-17页 |
| ·平面螺旋电感理论分析 | 第17-18页 |
| ·传感器力-电模型分析 | 第18-22页 |
| ·薄板的基本理论 | 第18-20页 |
| ·传感器电容及频率随施加压力变化理论分析 | 第20-22页 |
| ·传感器设计及仿真 | 第22-27页 |
| ·传感器设计 | 第22-25页 |
| ·传感器模型仿真及理论推导 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 LTCC 高温压力传感器的制备工艺及关键技术 | 第29-51页 |
| ·LTCC 及 LTCC 高温压力传感器工艺流程简介 | 第29-31页 |
| ·LTCC 简介 | 第29-30页 |
| ·LTCC 高温压力传感器制作工艺流程简介 | 第30-31页 |
| ·LTCC 高温压力传感器关键工艺及相关工艺 | 第31-40页 |
| ·压力敏感膜工艺 | 第32-36页 |
| ·封口工艺 | 第36-40页 |
| ·LTCC 高温压力传感器的制作 | 第40-50页 |
| ·传感器结构制作 | 第40-47页 |
| ·优化设计以及相关工艺研究 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 LTCC 高温压力传感器的测试 | 第51-63页 |
| ·压力敏感膜的测试 | 第51-55页 |
| ·测试平台的搭建 | 第51-52页 |
| ·测试结果分析 | 第52-55页 |
| ·常温下传感器均匀压力测试 | 第55-61页 |
| ·测试平台的搭建 | 第55-58页 |
| ·测试结果分析 | 第58-61页 |
| ·高温下传感器的性能测试 | 第61-62页 |
| ·测试平台的搭建 | 第61-62页 |
| ·测试结果分析 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结及展望 | 第63-65页 |
| ·全文工作总结 | 第63-64页 |
| ·工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |