基于硅基微纳结构表面修饰的生化传感特性的基础研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·论文研究背景及意义 | 第9页 |
| ·生物传感器简介 | 第9-12页 |
| ·光学谐振腔 | 第12-14页 |
| ·本文工作及安排 | 第14-17页 |
| 第二章 硅微纳结构生物传感器原理 | 第17-29页 |
| ·硅基波导微环谐振系统 | 第17-22页 |
| ·倏逝波原理 | 第17-20页 |
| ·波导微环耦合系统 | 第20-22页 |
| ·表面修饰技术 | 第22-25页 |
| ·硅基波导结构的主要性能指标 | 第25-28页 |
| ·谐振波长λm | 第26页 |
| ·谐振频率Δf | 第26页 |
| ·自由光谱空间 FSR | 第26-27页 |
| ·谐振峰半高全宽 Dn | 第27页 |
| ·品质因数 Q | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 硅基微纳结构设计仿真优化与加工 | 第29-43页 |
| ·波导微环耦合结构设计与仿真 | 第29-34页 |
| ·环形谐振腔半径的仿真分析 | 第30-32页 |
| ·波导与微环腔耦合间距仿真分析 | 第32-33页 |
| ·光波导宽度仿真分析 | 第33-34页 |
| ·微器件加工工艺简介 | 第34-38页 |
| ·光刻（Photolithography） | 第35-36页 |
| ·电子束曝光 | 第36页 |
| ·电子束蒸镀 | 第36-37页 |
| ·干法刻蚀 | 第37-38页 |
| ·硅基微纳结构制备工艺流程 | 第38-41页 |
| ·硅基微纳结构制备 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 硅基微纳结构表面修饰 | 第43-50页 |
| ·表面修饰 | 第43-46页 |
| ·硅基结构表面改性 | 第43-45页 |
| ·交联链接分子 | 第45页 |
| ·链接生物大分子 | 第45-46页 |
| ·实验过程 | 第46-49页 |
| ·硅片切割 | 第46-47页 |
| ·溶液配置 | 第47-48页 |
| ·实验过程 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第50-62页 |
| ·分子膜测试与分析 | 第50-56页 |
| ·表面微粗糙度分析 | 第50-52页 |
| ·接触角分析 | 第52-54页 |
| ·XPS 分析 | 第54-56页 |
| ·硅基微纳结构测试分析 | 第56-61页 |
| ·实验平台搭建与改进 | 第56-58页 |
| ·测试温度对微纳结构谐振特性的影响 | 第58-59页 |
| ·测试微纳结构对待测物质的分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
