机械致单轴应变SOI研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-7页
目录	第7-9页
第一章 绪论	第9-15页
·前言	第9-10页
·应变SOI器件的发展状况	第10-13页
·论文内容安排	第13-15页
第二章 应变Si理论与应变SOI技术研究	第15-27页
·应变Si理论研究	第15-17页
·晶格结构	第15-16页
·能带结构	第16-17页
·材料特性	第17页
·应变SOI技术研究	第17-26页
·双轴应变SOI技术	第18-24页
·单轴应力引入技术	第24-26页
·小结	第26-27页
第三章 弹塑性力学理论基础	第27-43页
·应力与应变	第27-32页
·应力矢量的一般概念	第27-29页
·切应力互等定理	第29-30页
·应变的基本概念	第30-32页
·弹性形变与塑性形变特点	第32-34页
·弹塑性力学的研究现状与进展	第34-41页
·材料的屈服硬化准则	第34-36页
·常用屈服条件	第36-38页
·弹塑性本构关系	第38-41页
·小结	第41-43页
第四章 机械致单轴应变SOI实验研究	第43-57页
·机械致应变技术	第43-45页
·机械致双轴应变技术	第43-44页
·机械致单轴应变技术	第44-45页
·机械致单轴应变SOI工艺原理	第45-48页
·机械致单轴应变SOI制备实验	第48-50页
·机械致单轴应变SOI材料表征	第50-54页
·应力度表征	第51-52页
·X射线双晶衍射表征	第52-53页
·表面粗糙度表征	第53-54页
·小结	第54-57页
第五章 结论	第57-59页
致谢	第59-61页
参考文献	第61-65页
攻读硕士期间的研究成果和参加科研情况	第65页