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双阴极等离子溅射制备纳米硅化物涂层的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-13页
第一章 文献综述第13-25页
   ·研究背景第13页
   ·TC4 合金表面改性的研究进展及存在的问题第13-15页
     ·磨损性能第13-14页
     ·高温氧化性能第14-15页
     ·腐蚀性能第15页
   ·金属硅化物第15-19页
     ·过渡金属硅化物第15-16页
     ·金属硅化物的脆性本质第16页
     ·金属硅化物脆性的改善方法第16-19页
   ·纳米科技在涂层中的发展及应用第19-23页
     ·纳米材料的特性第19-20页
     ·纳米涂层的制备第20-23页
   ·课题的提出第23页
   ·主要研究内容第23-24页
   ·本课题研究的意义第24-25页
第二章 试验材料与试验方案第25-30页
   ·试验材料及预处理第25页
   ·靶材制备第25-26页
   ·试验设备第26页
   ·试验装置第26-27页
   ·分析方法及手段第27-30页
     ·微观组织分析第27页
     ·涂层的纳米压入测试第27-28页
     ·划痕测试第28页
     ·氧化性能测试第28页
     ·磨损性能测试第28-29页
     ·腐蚀性能测试第29-30页
第三章 纳米CR_3SI 涂层组织与性能分析第30-53页
   ·本章提要第30页
   ·沉积工艺第30-33页
     ·沉积温度对Cr_3Si 涂层的影响第30-32页
     ·沉积时间对Cr_3Si 涂层的影响第32-33页
   ·纳米Cr_3Si 涂层组织分析第33-36页
     ·纳米Cr_3Si 涂层XRD 分析第33页
     ·纳米Cr_3Si 涂层SEM 分析第33-35页
     ·纳米Cr_3Si 涂层TEM 分析第35-36页
   ·纳米Cr_3Si 涂层的力学性能分析第36-40页
     ·纳米Cr_3Si 涂层的的硬度和弹性模量第36-37页
     ·纳米Cr_3Si 涂层的的韧性第37-40页
   ·纳米Cr_3Si 涂层的高温抗氧化性能分析第40-44页
     ·高温氧化动力学曲线第40-41页
     ·高温氧化相结构第41页
     ·氧化膜形貌第41-42页
     ·高温氧化断面组织第42-44页
   ·纳米Cr_3Si 涂层的磨损性能评定第44-50页
     ·纳米Cr_3Si 涂层室温磨损第44-47页
     ·纳米Cr_3Si 涂层高温磨损第47-50页
   ·纳米Cr_3Si 涂层的电化学腐蚀性能第50-52页
   ·本章小结第52-53页
第四章 纳米CR-SI-N 涂层组织与性能分析.第53-67页
   ·本章提要第53页
   ·纳米CR-SI-N 涂层的沉积参数第53-61页
     ·氮分压对纳米Cr-Si-N 涂层组织和性能的影响第53-57页
     ·沉积温度对纳米Cr-Si-N 涂层组织和性能的影响第57-61页
   ·纳米CR-SI-N 涂层磨损性能第61-65页
     ·纳米Cr-Si-N 涂层摩擦系数第61-62页
     ·纳米Cr-Si-N 涂层比磨损率第62-63页
     ·纳米Cr-Si-N 涂层磨损形貌第63-65页
   ·本章小结.第65-67页
第五章 纳米NiSi_2/Ti_5Si_3复合涂层组织与性能分析第67-79页
   ·本章提要第67页
   ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层组织分析第67-71页
     ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层XRD 分析第67-68页
     ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层SEM 分析第68-69页
     ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层TEM 分析第69-71页
   ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层的力学性能第71页
   ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层的结合力第71-73页
   ·涂层的摩擦磨损性能和机制第73-77页
     ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层的摩擦系数第73-74页
     ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层的比磨损率第74-75页
     ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 涂层的磨损形貌及磨损机理分析第75-77页
   ·纳米NiSi_2/Ti_5Si_3 复合涂层的腐蚀性能第77-78页
   ·本章小结第78-79页
第六章 结论与展望第79-81页
   ·结论第79-80页
   ·展望第80-81页
参考文献第81-89页
致谢第89-90页
硕士期间发表的论文第90页

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