全对称双级解耦微机械振动式陀螺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-30页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| ·微机械陀螺的性能指标及主要应用 | 第14-15页 |
| ·陀螺的性能指标 | 第14页 |
| ·微机械陀螺的主要应用 | 第14-15页 |
| ·微机械陀螺国内外研究现状 | 第15-29页 |
| ·论文主要研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 全对称双级解耦微机械陀螺动力学特性 | 第30-48页 |
| ·哥氏效应 | 第30-33页 |
| ·全对称双级解耦振动式陀螺运动方程 | 第33-36页 |
| ·微机械陀螺的机械灵敏度和线性度 | 第36-37页 |
| ·角速度频率响应 | 第37-43页 |
| ·微机械陀螺的噪声 | 第43-44页 |
| ·微机械陀螺的误差分析 | 第44-47页 |
| ·正交误差 | 第45-46页 |
| ·寄生哥氏力 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 全对称双级解耦微机械陀螺设计与实现 | 第48-82页 |
| ·全对称双级解耦微机械陀螺结构和工作原理 | 第48-51页 |
| ·结构和工作原理 | 第48-49页 |
| ·结构参数 | 第49-51页 |
| ·弹性梁结构的设计 | 第51-56页 |
| ·外弹性梁的弹性系数 | 第51-53页 |
| ·内弹性梁的弹性系数 | 第53-56页 |
| ·静电驱动与电容检测 | 第56-59页 |
| ·静电梳齿驱动 | 第56-58页 |
| ·梳状电容检测 | 第58-59页 |
| ·全对称微机械陀螺的空气阻尼 | 第59-67页 |
| ·微结构中的压膜阻尼 | 第60-63页 |
| ·微结构中的滑膜阻尼 | 第63-67页 |
| ·微机械陀螺的振动模态 | 第67-73页 |
| ·实际器件模型 | 第67-70页 |
| ·有限元求解 | 第70-73页 |
| ·微机械陀螺的温度特性分析 | 第73-75页 |
| ·微机械陀螺的系统模型 | 第75-79页 |
| ·全对称微机械陀螺运动方程 | 第75-76页 |
| ·微机械陀螺Simulink模型 | 第76-79页 |
| ·微机械陀螺的制作 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第4章 微机械陀螺开环检测接口电路设计与仿真 | 第82-96页 |
| ·微机械陀螺接口电路原理 | 第82-83页 |
| ·驱动电路 | 第83-84页 |
| ·检测电路设计 | 第84-94页 |
| ·C-V转换电路 | 第84-87页 |
| ·载波电路 | 第87-88页 |
| ·高通滤波器 | 第88-89页 |
| ·低通滤波器 | 第89-91页 |
| ·解调电路 | 第91-93页 |
| ·移相电路 | 第93-94页 |
| ·测试电路板的设计 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第5章 微机械陀螺测试与分析 | 第96-108页 |
| ·工艺参数误差分析 | 第96-97页 |
| ·模态参数测试与分析 | 第97-100页 |
| ·非线性振动测试 | 第100-103页 |
| ·显微镜测试平台 | 第100-102页 |
| ·测试结果及分析 | 第102-103页 |
| ·解耦特性测试 | 第103-104页 |
| ·温度特性测试与分析 | 第104-105页 |
| ·微机械陀螺灵敏度测试 | 第105-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 结论 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-120页 |
| 附录1 | 第120-121页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 个人简历 | 第124页 |
