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磁控溅射法制备N、W共掺杂TiO2薄膜及其光致亲水性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-20页
   ·研究背景第8页
   ·TiO_2简介第8-10页
   ·研究意义第10-12页
   ·理论基础第12-18页
   ·本论文研究内容第18-20页
第二章 磁控溅射制备掺杂薄膜方法概述第20-30页
   ·实验仪器和设备第20-21页
   ·射频磁控溅射靶的制备第21-24页
   ·基片清洗第24页
   ·薄膜的制备第24-28页
   ·薄膜的退火处理第28页
   ·检测仪器第28-30页
第三章 不同W掺杂含量 TiO_2薄膜的制备和研究第30-44页
   ·W掺杂 TiO_2薄膜的制备和表征方法第30页
   ·厚度分析第30-31页
   ·AFM形貌分析第31-32页
   ·拉曼光谱分析第32-35页
   ·UV-Vis吸收光谱分析第35-37页
   ·光致亲水性分析第37-40页
   ·热处理对W掺杂薄膜性能的影响第40-43页
   ·小结第43-44页
第四章 N和 W共掺杂 TiO_2薄膜的制备和研究第44-55页
   ·共掺杂薄膜的制备第44页
   ·薄膜厚度和 AFM形貌分析第44-47页
   ·拉曼光谱分析第47页
   ·UV-Vis吸收光谱第47-49页
   ·XPS光谱分析第49-53页
   ·光致亲水性分析第53-54页
   ·小结第54-55页
第五章 钒离子注入改进 Pilkington自洁玻璃的亲水性初探第55-62页
   ·研究背景和研究目的第55页
   ·制备工艺条件第55-57页
   ·薄膜微观结构第57-58页
   ·离子注入能量对光致亲水性的影响第58-59页
   ·离子注入浓度对光致亲水性的影响第59-60页
   ·不同退火温度对光致亲水性的影响第60-61页
   ·小结第61-62页
第六章 论文总结第62-64页
   ·结论第62-63页
   ·已做的探索和有待进行的工作第63-64页
参考文献第64-70页
硕士研究生期间发表的论文第70-71页
致谢第71页

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