单晶炉温度控制装置的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·课题背景及选题意义	第8-9页
·单晶等径生长控制技术发展概述	第9-11页
·本文主要工作	第11-14页
2 系统控制模型的建立	第14-21页
·系统主被控对象的特性分析	第14-15页
·双闭环串级控制系统介绍	第15-18页
·串级控制系统控制模型的建立	第18-19页
·控温系统控制回路的确立	第19-21页
3 数字控制直流加热电源	第21-34页
·主要技术指标	第21-22页
·晶体生长加热方式分类	第22-23页
·控制电路的数字化构成	第23-29页
·数字控制器与电源保护的接口方法	第29-34页
4 高测量精度温度控制器	第34-42页
·温度控制器主要功能	第34-35页
·温度控制器硬件设计	第35-36页
·可提高前向通道测量精度的模块设计	第36-42页
5 温度控制系统采用的控制算法	第42-52页
·温度分段控制	第42页
·常规控制系统控制算法分类	第42-43页
·PID 控制算法	第43-45页
·模糊控制算法	第45-47页
·模糊PID 控制算法在温度控制系统中的应用	第47-52页
6 温度控制系统功能软件的实现	第52-58页
·温度控制系统主程序流程	第52-56页
·模糊PID 控制算法的软件实现	第56-58页
7 系统仿真与实验数据结果分析	第58-63页
·同步电压获取电路仿真分析	第58页
·控制算法仿真测试	第58-60页
·实验数据结果分析	第60-63页
8 结论	第63-64页
参考文献	第64-68页
攻读硕士学位期间发表的论文	第68-69页
致谢	第69页