| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·类金刚石薄膜概述 | 第9-12页 |
| ·国内外研究概况 | 第12-15页 |
| 2 脉冲激光沉积技术及类金刚石薄膜形成 | 第15-19页 |
| ·脉冲激光沉积原理 | 第15-17页 |
| ·脉冲激光沉积法特点 | 第17-18页 |
| ·类金刚石薄膜形成机理 | 第18-19页 |
| 3 类金刚石薄膜制备 | 第19-24页 |
| ·实验装置 | 第19-20页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第20-22页 |
| ·大颗粒问题 | 第22-24页 |
| 4 类金刚石薄膜性能测试及分析 | 第24-41页 |
| ·Raman测试及分析 | 第24-28页 |
| ·带隙宽度测试及计算 | 第28-30页 |
| ·红外透过测试及分析 | 第30-36页 |
| ·AFM测试及分析 | 第36-41页 |
| 5 全文总结 | 第41-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表论文目录 | 第48页 |