化学沉积银和银钨合金的工艺研究
| 第一章 前言 | 第1-10页 |
| 第二章 文献分析 | 第10-29页 |
| ·置换法化学沉积 | 第10-15页 |
| ·置换法化学沉积的基本原理 | 第10-12页 |
| ·化学沉积的形核与长大 | 第12-14页 |
| ·化学沉积银 | 第14-15页 |
| ·化学沉积银的反应机理 | 第14页 |
| ·化学沉积银的影响因素 | 第14-15页 |
| ·超声化学沉积 | 第15-17页 |
| ·超声波简介 | 第15-16页 |
| ·超声电化学 | 第16页 |
| ·超声化学沉积 | 第16-17页 |
| ·金属互连技术 | 第17-24页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·第一代互连技术 | 第17-19页 |
| ·第二代互连技术 | 第19-24页 |
| ·双大马士革结构的 Cu 互连技术的工艺流程 | 第20-21页 |
| ·Cu 互连技术中的关键技术问题 | 第21-24页 |
| ·新一代的金属互连技术 | 第24页 |
| ·小节 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-29页 |
| 第三章 基材预处理的工艺研究 | 第29-36页 |
| ·前言 | 第29页 |
| ·实验方法 | 第29-31页 |
| ·原始铜基材 | 第29-30页 |
| ·铜基材的预处理 | 第30-31页 |
| ·镀覆后试样的分析 | 第31页 |
| ·化学沉积银预处理工艺研究 | 第31-35页 |
| ·铜基材的预处理 | 第31-33页 |
| ·预处理过程对化学沉积银的影响 | 第33-34页 |
| ·对预处理机理的讨论 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第四章 化学沉积银的工艺研究 | 第36-85页 |
| ·前言 | 第36页 |
| ·试验方法 | 第36-40页 |
| ·实验装置 | 第36-37页 |
| ·化学沉积银液的组成及配制方法 | 第37-38页 |
| ·铜基材的化学沉积银 | 第38页 |
| ·试样的后处理 | 第38-39页 |
| ·镀速的测定 | 第39页 |
| ·pH 值的测定 | 第39页 |
| ·镀覆后试样的分析 | 第39-40页 |
| ·化学沉积银工艺研究 | 第40-83页 |
| ·pH 值对化学沉积银的影响 | 第40-45页 |
| ·pH 值对镀液稳定性的影响 | 第40-41页 |
| ·pH 值对沉积速度的影响 | 第41-42页 |
| ·pH 值对镀层形貌的影响 | 第42-43页 |
| ·pH 值对镀层相组成的影响 | 第43-44页 |
| ·结果分析和讨论 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45页 |
| ·温度对化学沉积银的影响研究 | 第45-49页 |
| ·温度对镀液稳定性的影响 | 第46页 |
| ·温度对镀速的影响 | 第46-47页 |
| ·温度对镀层形貌的影响 | 第47-48页 |
| ·结果讨论分析 | 第48-49页 |
| ·小结 | 第49页 |
| ·反应时间对化学沉积银的影响 | 第49页 |
| ·超声对化学沉积银影响的研究 | 第49-59页 |
| ·超声对镀液稳定性的影响 | 第50页 |
| ·超声对沉积速率的影响 | 第50-52页 |
| ·超声对镀层形貌的影响 | 第52-55页 |
| ·超声对镀层相组成的影响 | 第55-58页 |
| ·结果讨论与分析 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59页 |
| ·主盐含量对化学沉积银的影响研究 | 第59-64页 |
| ·主盐含量对化学沉积银速度的影响 | 第59-60页 |
| ·主盐含量对化学沉积银的表面形貌的影响 | 第60-62页 |
| ·主盐含量对化学沉积银镀层的相组成的影响 | 第62-63页 |
| ·讨论分析 | 第63-64页 |
| ·小结 | 第64页 |
| ·络合剂对化学沉积银的影响 | 第64-79页 |
| ·络合剂的选择与双元络合剂的研究 | 第65-71页 |
| ·络合剂含量对镀速的影响 | 第71-72页 |
| ·络合剂含量对镀层表面形貌的影响 | 第72-75页 |
| ·络合剂含量对相组成的影响 | 第75-77页 |
| ·讨论与分析 | 第77-78页 |
| ·本节小结 | 第78-79页 |
| ·添加剂对化学沉积银的影响 | 第79-83页 |
| ·前言 | 第79页 |
| ·乙二醇含量对化学沉积银镀速的影响 | 第79-80页 |
| ·乙二醇含量对化学沉积银的表面形貌的影响 | 第80-82页 |
| ·乙二醇含量对化学沉积银镀层相组成的影响 | 第82页 |
| ·分析与小节 | 第82-83页 |
| ·镀层的质量检验 | 第83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 第五章 化学沉积银钨合金的工艺研究 | 第85-95页 |
| ·前言 | 第85页 |
| ·试验方法 | 第85-87页 |
| ·镀液配置 | 第85-86页 |
| ·基材预处理 | 第86页 |
| ·试样分析 | 第86页 |
| ·pH 值的测定 | 第86页 |
| ·镀速的测定 | 第86-87页 |
| ·试验结果与分析 | 第87-94页 |
| ·工艺条件对化学沉积速度的影响 | 第87-89页 |
| ·工艺条件对镀层相组成的影响 | 第89-91页 |
| ·工艺条件对镀层形貌的影响 | 第91-94页 |
| ·小结 | 第94页 |
| 参考文献 | 第94-95页 |
| 第六章 化学沉积银热力学与动力学研究 | 第95-107页 |
| ·前言 | 第95页 |
| ·实验方法 | 第95-96页 |
| ·镀液配置 | 第95-96页 |
| ·基材预处理 | 第96页 |
| ·镀速的测定 | 第96页 |
| ·化学沉积银的热力学研究 | 第96-98页 |
| ·化学沉积银的动力学研究 | 第98-105页 |
| ·各变量的影响 | 第98-103页 |
| ·沉积速度方程 | 第103-104页 |
| ·沉积速度方程的验证 | 第104-105页 |
| ·小结 | 第105页 |
| 参考文献 | 第105-107页 |
| 第七章 化学沉积废水处理及利用 | 第107-112页 |
| ·前言 | 第107页 |
| ·废水处理方法及选择 | 第107-109页 |
| ·物理法 | 第107页 |
| ·化学法 | 第107-108页 |
| ·物理化学法 | 第108-109页 |
| ·生物法 | 第109页 |
| ·化学沉积银废液的处理和利用 | 第109页 |
| ·实验方法 | 第109-110页 |
| ·水样来源 | 第109-110页 |
| ·实验方法及原理 | 第110页 |
| ·小结 | 第110页 |
| 参考文献 | 第110-112页 |
| 结论 | 第112-114页 |
| 致 谢 | 第114-115页 |
| 个人简历 | 第115-116页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第116页 |
