| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| ·精密表面缺陷概述 | 第6-7页 |
| ·光学元件加工特点 | 第7-8页 |
| ·光学元件表面疵病检测标准 | 第8-11页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 参考文献 | 第13-15页 |
| 第二章 大口径光学元件表面疵病检测系统 | 第15-28页 |
| ·国内外光学元件疵病主要检测方法与分析 | 第15-16页 |
| ·大口径光学元件表面疵病检测系统设计 | 第16-27页 |
| ·表面疵病检测的照明系统 | 第17-20页 |
| ·光学成像系统 | 第20-21页 |
| ·子孔径图像采集系统 | 第21-23页 |
| ·子孔径扫描采集平移系统 | 第23-27页 |
| 参考文献 | 第27-28页 |
| 第三章 光学元件表面疵病检测扫描拼接的误差分析 | 第28-42页 |
| ·误差分类 | 第28-30页 |
| ·全孔径拼接错位的各种误差源分类 | 第30-31页 |
| ·图像拼接误差理论分析 | 第31-34页 |
| ·对称误差导致的积累误差 | 第32页 |
| ·非对称误差导致的积累误差 | 第32-34页 |
| ·全孔径拼接误差分析及误差减小方法 | 第34-41页 |
| ·全孔径拼接原理简介 | 第34页 |
| ·扫描平移系统的定位误差 | 第34-37页 |
| ·导轨垂直度引起的拼接误差 | 第37-38页 |
| ·CCD坐标与扫描轨迹坐标间存在夹角引起的误差 | 第38-41页 |
| 参考文献 | 第41-42页 |
| 第四章 CCD坐标与扫描轨迹坐标的偏离对拼接的影响 | 第42-53页 |
| ·CCD坐标与扫描轨迹坐标的偏离对拼接的影响 | 第42-43页 |
| ·两坐标系间夹角的最大容差 | 第43-45页 |
| ·两坐标系间夹角的测量及调整 | 第45-48页 |
| ·实验结果分析 | 第48-52页 |
| 参考文献 | 第52-53页 |
| 第五章 大口径光学元件表面疵病检测的软件设计 | 第53-69页 |
| ·系统软件设计概述 | 第53页 |
| ·定标采集程序的编写 | 第53-60页 |
| ·初始化采集卡实现图像显示 | 第54-56页 |
| ·初始化串行口实现对步进电机的控制 | 第56-57页 |
| ·显微散射成像系统视场测量 | 第57-59页 |
| ·几何定标并输出几何定标参数 | 第59页 |
| ·计算X向单帧步数S | 第59-60页 |
| ·计算定标采集的子孔径数 | 第60页 |
| ·样品扫描采集程序的编写 | 第60-65页 |
| ·CCD调整系统程序编写 | 第65-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-72页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·光学元件表面疵病检测系统改进意见 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第73页 |