| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 字母注释表 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 显微拉曼系统 | 第11-12页 |
| 1.2.2 扫描探针显微镜 | 第12页 |
| 1.2.3 针尖增强拉曼发展研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.4 现有测量手段的局限性 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 拉曼光谱仪、AFM系统及其联用系统 | 第15-24页 |
| 2.1 显微拉曼光谱仪工作原理及系统结构 | 第15-17页 |
| 2.1.1 拉曼散射基本原理 | 第15页 |
| 2.1.2 显微拉曼光谱仪基本结构 | 第15-17页 |
| 2.2 原子力显微镜工作原理和系统结构 | 第17-20页 |
| 2.2.1 AFM系统基本原理及工作模式 | 第17-18页 |
| 2.2.2 AFM系统的典型结构 | 第18-20页 |
| 2.3 针尖增强拉曼系统基本原理与系统结构 | 第20-23页 |
| 2.3.1 TERS基本原理 | 第20-21页 |
| 2.3.2 TERS系统基本结构 | 第21-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 模块化显微拉曼系统 | 第24-37页 |
| 3.1 半英寸笼式显微拉曼外光路子系统设计 | 第24-32页 |
| 3.1.1 观察光路设计 | 第26-28页 |
| 3.1.2 信号光路设计 | 第28-32页 |
| 3.2 模块化显微拉曼系统光谱记录与分析 | 第32-33页 |
| 3.3 模块化显微拉曼系统验证实验 | 第33-36页 |
| 3.3.1 系统稳定性实验 | 第34-35页 |
| 3.3.2 单晶硅单轴压缩实验 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 全开放式原子力显微镜的设计研制 | 第37-53页 |
| 4.1 FO-AFM系统光路模块设计 | 第37-45页 |
| 4.1.1 观察光路设计 | 第38-40页 |
| 4.1.2 激光光路设计 | 第40-45页 |
| 4.2 FO-AFM位移机构模块的设计 | 第45-49页 |
| 4.3 FO-AFM控制及反馈模块 | 第49-50页 |
| 4.4 FO-AFM的标样测试 | 第50-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 显微拉曼与AFM联用系统的搭建与标定 | 第53-61页 |
| 5.1 FO-AFM的改进设计 | 第53-55页 |
| 5.1.1 FO-AFM主体结构固定方式的设计 | 第53-55页 |
| 5.1.2 FO-AFM探针位移机构后置 | 第55页 |
| 5.2 拉曼外光路模块联用位移机构及介入角度的设计 | 第55-57页 |
| 5.3 联用系统整体结构与隔振设计 | 第57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-61页 |
| 第六章 工作总结及展望 | 第61-62页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第61页 |
| 6.2 进一步工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |