| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.1.1 红外探测器的发展 | 第11-12页 |
| 1.1.2 红外探测器的分类 | 第12-13页 |
| 1.2 本论文的研究内容 | 第13-15页 |
| 1.2.1 论文研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2.2 论文安排 | 第14-15页 |
| 第二章 微测辐射热计的介绍及建模 | 第15-27页 |
| 2.1 微测辐射热计的介绍及工作原理 | 第15-21页 |
| 2.1.1 微测辐射热计的介绍 | 第15-17页 |
| 2.1.2 微测辐射热计吸收模型 | 第17-19页 |
| 2.1.3 热平衡方程 | 第19-20页 |
| 2.1.4 未施加直流偏置的热平衡方程 | 第20-21页 |
| 2.1.5 施加直流偏置的热平衡方程 | 第21页 |
| 2.2 微测辐射热计的建模 | 第21-23页 |
| 2.2.1 有限元分析软件 | 第21-22页 |
| 2.2.2 单层L型和双层伞形及S型微测辐射热计的建模 | 第22-23页 |
| 2.3 微测辐射热计的基本性能 | 第23-26页 |
| 2.3.1 微测辐射热计的光学特性 | 第24页 |
| 2.3.2 微测辐射热计的力学特性 | 第24页 |
| 2.3.3 微测辐射热计的热学特性 | 第24-25页 |
| 2.3.4 微测辐射热计的热电耦合及电学特性 | 第25页 |
| 2.3.5 微测辐射热计的性能参数 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 氧化钒微测辐射热计的光学性能研究 | 第27-41页 |
| 3.1 多层光学薄膜下导纳矩阵法原理 | 第27-31页 |
| 3.2 氧化钒微测辐射热计的红外吸收模型及光学参数 | 第31-32页 |
| 3.2.1 红外吸收模型的建立 | 第31-32页 |
| 3.2.2 光学薄膜光学参数的选取 | 第32页 |
| 3.3 氧化钒微测辐射热计的光学仿真分析 | 第32-40页 |
| 3.3.1 双层伞型微桥结构的和红外吸收率仿真及分析 | 第33-37页 |
| 3.3.2 双牺牲层S型微桥结构的红外吸收率仿真及分析 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 氧化钒微测辐射热计的力学性能研究 | 第41-53页 |
| 4.1 单层L型微桥结构力学仿真 | 第41-47页 |
| 4.1.1 内应力对力学性能的影响 | 第41-46页 |
| 4.1.2 膜厚对力学性能的影响 | 第46-47页 |
| 4.2 双层伞形结构的力学性能仿真 | 第47-49页 |
| 4.2.1 膜厚对力学性能的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.2 谐振腔对力学性能的影响 | 第48-49页 |
| 4.3 双层S型微桥结构的力学仿真 | 第49-51页 |
| 4.3.1 膜厚对力学性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.3.2 谐振腔对力学性能仿真 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 氧化钒微测辐射热计的热电耦合性能研究 | 第53-67页 |
| 5.1 黑体模型分析 | 第53-55页 |
| 5.2 三种微桥结构的热学性能仿真 | 第55-58页 |
| 5.2.1 单层L型微桥结构热学性能仿真 | 第55-56页 |
| 5.2.2 双层伞型微桥结构热学性能仿真 | 第56-57页 |
| 5.2.3 双层S型微桥结构热学性能仿真 | 第57-58页 |
| 5.3 微桥结构的电学仿真 | 第58-59页 |
| 5.3.1 单层L型微桥结构的电阻及其敏感电阻的提取 | 第58页 |
| 5.3.2 双层伞型微桥结构的电阻及其敏感电阻的提取 | 第58页 |
| 5.3.3 双层S型微桥结构的电阻及其敏感电阻的提取 | 第58-59页 |
| 5.4 微桥结构的热电耦合性能仿真 | 第59-62页 |
| 5.4.1 单层L型微桥结构热电耦合性能仿真 | 第59-60页 |
| 5.4.2 双层伞型微桥结构热电耦合性能仿真 | 第60-61页 |
| 5.4.3 双层S型微桥结构热电耦合性能仿真 | 第61-62页 |
| 5.5 最优化偏置电流 | 第62-66页 |
| 5.5.1 单层L型微桥结构的最优化电流 | 第62-63页 |
| 5.5.2 双层伞型微桥结构的最优化电流 | 第63-64页 |
| 5.5.3 双层S型微桥结构的最优化电流 | 第64-66页 |
| 5.6 器件热导和理论热导及有效热导的比较 | 第66页 |
| 5.7 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 工作总结 | 第67-68页 |
| 6.2 论文展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第74-75页 |
