共轴极紫外投影光刻物镜设计研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-32页 |
| 1.1 极紫外光刻概述 | 第13-16页 |
| 1.2 极紫外光刻投影物镜设计 | 第16-25页 |
| 1.2.1 极紫外投影光刻物镜的分类 | 第16-17页 |
| 1.2.2 极紫外投影光刻物镜的现有设计 | 第17-19页 |
| 1.2.3 极紫外投影光刻物镜的设计方法 | 第19-24页 |
| 1.2.4 极紫外光刻物镜的分组设计概念 | 第24-25页 |
| 1.3 极紫外光刻照明系统设计 | 第25-30页 |
| 1.3.1 照明系统的设计要求和组成部分 | 第25-27页 |
| 1.3.2 照明系统的主要匀光方案 | 第27-29页 |
| 1.3.3 极紫外光刻照明系统的设计难点 | 第29-30页 |
| 1.4 本论文的研究动机和目标 | 第30-31页 |
| 1.5 本论文的主要内容 | 第31-32页 |
| 第2章 初始结构分组设计方法 | 第32-60页 |
| 2.1 初始结构分组设计方法概述 | 第32-34页 |
| 2.2 分组设计计算条件 | 第34-49页 |
| 2.2.1 无遮拦条件 | 第35-40页 |
| 2.2.2 遮拦比条件 | 第40-44页 |
| 2.2.3 光阑条件 | 第44-45页 |
| 2.2.4 共轭条件 | 第45-49页 |
| 2.3 多反射物镜设计的分组策略 | 第49-51页 |
| 2.4 分镜组的计算 | 第51-57页 |
| 2.4.1 两反射镜无遮拦物方镜组 | 第52-54页 |
| 2.4.2 两反射镜无遮拦中间镜组 | 第54页 |
| 2.4.3 四反射镜无遮拦中间镜组 | 第54-55页 |
| 2.4.4 两反射镜无遮拦像方镜组 | 第55-56页 |
| 2.4.5 两反射镜中心遮拦像方镜组 | 第56-57页 |
| 2.5 分镜组衔接匹配条件 | 第57-59页 |
| 2.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第3章 多反射极紫外光刻投影物镜初始结构设计 | 第60-90页 |
| 3.1 六反射投影物镜设计 | 第60-73页 |
| 3.1.1 无遮拦六反射投影物镜设计 | 第60-67页 |
| 3.1.2 中心遮拦六反射投影物镜设计 | 第67-73页 |
| 3.2 八反射投影物镜设计 | 第73-83页 |
| 3.2.1 无遮拦八反射投影物镜设计 | 第73-80页 |
| 3.2.2 中心遮拦八反射投影物镜设计 | 第80-83页 |
| 3.3 中心遮拦十反射投影物镜设计 | 第83-85页 |
| 3.4 初始结构的改进与调整 | 第85-89页 |
| 3.5 本章小结 | 第89-90页 |
| 第4章 非球面结构优化方法研究 | 第90-117页 |
| 4.1 非球面光学系统的设计 | 第90-94页 |
| 4.1.1 非球面的表征 | 第90-91页 |
| 4.1.2 非球面面形参数的优化设计 | 第91-94页 |
| 4.2 渐进优化方法 | 第94-99页 |
| 4.2.1 渐进优化方法的操作流程 | 第94-96页 |
| 4.2.2 渐进优化过程中的约束条件 | 第96-98页 |
| 4.2.3 扰动和优化潜力判定 | 第98-99页 |
| 4.3 极紫外光刻投影物镜优化结果实例 | 第99-115页 |
| 4.3.1 无遮拦六反射投影物镜优化结果 | 第99-104页 |
| 4.3.2 中心遮拦的六反射投影物镜优化结果 | 第104-108页 |
| 4.3.3 无遮拦八反射投影物镜优化结果 | 第108-112页 |
| 4.3.4 中心遮拦十反射投影物镜优化结果 | 第112-115页 |
| 4.4 本章小结 | 第115-117页 |
| 第5章 传统照明方式的极紫外光刻照明系统设计 | 第117-136页 |
| 5.1 极紫外光刻复眼匀光系统的双向设计方法 | 第117-120页 |
| 5.1.1 复眼匀光结构的双向设计方法 | 第117页 |
| 5.1.2 双共轭结构的物像性质分析 | 第117-119页 |
| 5.1.3 中继镜组及掠入射镜的结构选取 | 第119-120页 |
| 5.2 双排复眼对位 | 第120-124页 |
| 5.2.1 光阑复眼位置的确定 | 第120-121页 |
| 5.2.2 视场复眼位置的计算 | 第121-122页 |
| 5.2.3 光阑复眼元的倾斜角度计算 | 第122-123页 |
| 5.2.4 视场复眼元的倾斜角度计算 | 第123-124页 |
| 5.3 掩模面均匀性优化 | 第124-128页 |
| 5.3.1 弧形视场均匀性计算 | 第124-126页 |
| 5.3.2 分组复眼均匀性优化方案 | 第126-128页 |
| 5.4 照明系统设计结果 | 第128-135页 |
| 5.4.1 极紫外光刻照明系统实体建模 | 第128-133页 |
| 5.4.2 照明性能分析 | 第133-135页 |
| 5.5 本章小结 | 第135-136页 |
| 结论和展望 | 第136-140页 |
| 参考文献 | 第140-149页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第149-150页 |
| 致谢 | 第150-151页 |
| 作者简介 | 第151页 |
