| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题目的及意义 | 第8-9页 |
| 1.3 微悬浮结构的制造与应用国内外研究现状 | 第9-15页 |
| 1.4 C-MEMS衍射现象与理论 | 第15-18页 |
| 1.5 论文的研究内容 | 第18-20页 |
| 2 基于C-MEMS的微结构间悬浮结构制造工艺 | 第20-39页 |
| 2.1 SU-8胶光刻工艺 | 第20-24页 |
| 2.1.1 SU-8胶的特性 | 第20-21页 |
| 2.1.2 SU-8胶的光刻工艺 | 第21-24页 |
| 2.2 微结构间悬浮结构制造工艺流程介绍 | 第24-30页 |
| 2.3 在微结构间制造悬浮结构 | 第30-34页 |
| 2.4 悬浮结构制造工艺适用性总结 | 第34-39页 |
| 3 碳悬浮结构性能的测量 | 第39-52页 |
| 3.1 测试电路的搭建流程 | 第39-42页 |
| 3.2 铜电极间制造碳悬浮结构 | 第42-49页 |
| 3.3 对碳悬浮结构电性能的测试 | 第49-52页 |
| 4 总结与展望 | 第52-53页 |
| 4.1 全文总结 | 第52页 |
| 4.2 展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第58页 |