| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 二氧化氮的危害及国家标准 | 第9-10页 |
| 1.2 二氧化氮的检测方法 | 第10-11页 |
| 1.3 声表面波传感器 | 第11-13页 |
| 1.4 声表面波NO2传感器的研究现状及发展趋势 | 第13页 |
| 1.5 本文的主要工作 | 第13-14页 |
| 1.6 本文的内容组织安排 | 第14-15页 |
| 2 声表面波基本原理及器件选择 | 第15-21页 |
| 2.1 声表面波基本原理 | 第15-19页 |
| 2.1.1 声表面波的激励及传播 | 第15-17页 |
| 2.1.2 SAW传感器敏感机理 | 第17-19页 |
| 2.2 声表面波器件的选择 | 第19-20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 传感器信号处理电路的设计及制造 | 第21-34页 |
| 3.1 声表面波频率测量方式比较 | 第21-22页 |
| 3.2 谐振电路的设计及制作 | 第22-29页 |
| 3.2.1 电路工作原理 | 第22-23页 |
| 3.2.2 射频放大器的选择 | 第23-24页 |
| 3.2.3 匹配网络的设计 | 第24-29页 |
| 3.3 信号处理电路 | 第29页 |
| 3.4 PCB的设计制作 | 第29-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 传感器敏感膜的制备 | 第34-48页 |
| 4.1 敏感膜对气体分子的吸附 | 第34-35页 |
| 4.2 敏感膜材料的选择 | 第35-40页 |
| 4.3 敏感膜的制备工艺研究 | 第40-47页 |
| 4.3.1 滴涂法制备敏感膜 | 第42-43页 |
| 4.3.2 采用旋涂法制备敏感膜 | 第43-45页 |
| 4.3.3 采用喷涂法制备敏感膜 | 第45-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 传感器测试平台的搭建及传感实验 | 第48-63页 |
| 5.1 测试环境及测试设备 | 第48-52页 |
| 5.1.1 温湿度控制系统 | 第48-49页 |
| 5.1.2 多浓度气体配置系统 | 第49-50页 |
| 5.1.3 气室的设计和制造 | 第50-51页 |
| 5.1.4 信号采集与处理系统 | 第51-52页 |
| 5.2 环境因素对声表面波传感器的影响研究 | 第52-56页 |
| 5.2.1 温度的影响 | 第52-53页 |
| 5.2.2 湿度的影响 | 第53页 |
| 5.2.3 气流的影响 | 第53-56页 |
| 5.3 气体传感实验 | 第56-60页 |
| 5.3.1 CuPc/MWNTs复合膜器件传感实验 | 第56-57页 |
| 5.3.2 CuPc/MWNTs与ZnO复合膜器件传感实验 | 第57-60页 |
| 5.3.3 CuPc/MWNTs与WO_3复合膜器件传感实验 | 第60页 |
| 5.4 传感机理的理论分析 | 第60-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 6 结论及展望 | 第63-66页 |
| 6.1 本文研究工作总结 | 第63-64页 |
| 6.2 后续的研究工作与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读学位期间主要的研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
