LED质检装备机械精度标定方法研究与应用
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题概述 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 本文的主要研究内容及章节安排 | 第11-13页 |
| 2 移送系统标定需求分析 | 第13-19页 |
| 2.1 移送系统概述 | 第13-15页 |
| 2.2 质检装备机械精度标定需求分析 | 第15-18页 |
| 2.3 本章小结 | 第18-19页 |
| 3 移送系统标定技术方案 | 第19-25页 |
| 3.1 工作台定位误差测量及补偿方案设计 | 第19-20页 |
| 3.2 偏心轮从动件位置曲线标定方案设计 | 第20-23页 |
| 3.3 芯片取放力标定方案设计 | 第23-24页 |
| 3.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 4 工作台定位误差测量与补偿 | 第25-40页 |
| 4.1 激光干涉法线性测长 | 第25-30页 |
| 4.2 工作台定位误差测量与分析 | 第30-34页 |
| 4.3 工作台定位误差补偿方法研究 | 第34-39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 芯片取放位-力控制功能标定 | 第40-61页 |
| 5.1 激光三角法测量 | 第40-49页 |
| 5.2 激光位移传感器偏心轮从动件位置曲线标定 | 第49-53页 |
| 5.3 接触式位移传感器偏心轮从动件位置曲线标定 | 第53-57页 |
| 5.4 芯片取放力标定 | 第57-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 6 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 研究总结 | 第61-62页 |
| 6.2 研究展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附图 | 第68-69页 |
